特許
J-GLOBAL ID:201803000771298708
定形逐次電力分配用の電力分配器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
村山 靖彦
, 実広 信哉
, 阿部 達彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-540067
特許番号:特許第6262753号
出願日: 2013年10月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 3つ以上のターゲットA、B、C、...、Xへ逐次、電力送出の中断なしに、DC発電機の実質的に一定の電力を分配することに適した電力分配器において、
前記電力分配器が、前記DC発電機の一方の出力端を前記3つ以上のターゲットA、B、C、...、Xの全てに接続する回路を備え、
前記DC発電機の他方の出力端が、オーム抵抗器RTを通った後、前記ターゲットの数に従って分枝し、各ターゲットA、B、C、...、Xが、前記分枝の1つに接続され、
前記分枝が、前記ターゲットにそれぞれ割り当てられたスイッチSA、SB、SC、...、SXを備え、前記スイッチによって、前記割り当てられたターゲットへのラインを遮断することができ、
前記DC発電機が接続されるときは必ず、RC要素の回路が設けられ、前記要素が、スイッチSRCを介して前記DC発電機の両出力端に接続されることを特徴とする電力分配器。
IPC (2件):
C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01J 37/34 ( 200 6.01)
FI (2件):
C23C 14/34 T
, H01J 37/34
引用特許:
出願人引用 (5件)
-
スパッタ装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-136199
出願人:株式会社神戸製鋼所
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真空装置の異常放電消滅装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-118418
出願人:日本真空技術株式会社
-
スパッタ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-229805
出願人:株式会社神戸製鋼所
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審査官引用 (5件)
-
スパッタ装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-136199
出願人:株式会社神戸製鋼所
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真空装置の異常放電消滅装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-118418
出願人:日本真空技術株式会社
-
スパッタ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-229805
出願人:株式会社神戸製鋼所
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