特許
J-GLOBAL ID：201803000807348294

円二色性計測方法及び円二色性計測装置

発明者：
里園 浩

里園 浩 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-209346
公開番号（公開出願番号）：特開2015-075330
特許番号：特許第6239336号
出願日： 2013年10月04日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象の試料に係るミュラー行列を下記の数式(1) としたときに、行列要素S02を計測するS02計測ステップと、 上記の数式(1)における行列要素S20を計測するS20計測ステップと、 前記S02計測ステップにおいて得られた行列要素S02と、前記S20計測ステップにおいて得られた行列要素S20とから円二色性を算出する算出ステップと、 を備える円二色性計測方法であって、 前記S02計測ステップは、 第1の方向の直線偏光である第1直線偏光を出射する偏光光源と、前記偏光光源からの前記第1直線偏光を入射し、当該第1直線偏光の振動面とは異なる振動面を持ち互いに直交する2つの偏光成分の間の位相差を変更して出射する第1可変波長板と、前記第1可変波長板から出射されて、試料により透過された透過光を入射し、当該透過光の振動面とは異なる振動面を持ち互いに直交する2つの偏光成分の間の位相差を変更して出射する第2可変波長板と、前記第2可変波長板から出射された光を入射し、第2の方向の直線偏光である第2直線偏光を取り出すことが可能な第2偏光板と、前記第2偏光板から出射された光を電気信号に変換して検出する光検出手段と、を備える円二色性計測装置において、 前記第1の方向及び前記第2の方向を固定した状態で、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うL1測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/4λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うN00測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を3/4λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うN10測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/4λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/2λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うN01測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を3/4λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/2λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うN11測定ステップと、 を有し、 前記S20計測ステップは、 前記円二色性計測装置において、前記第1の方向及び前記第2の方向を固定した状態で、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うL2測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/4λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うK00測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/2λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/4λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うK10測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を3/4λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うK01測定ステップと、 前記第1可変波長板において、前記第1直線偏光の波長をλとしたとき、前記位相差を1/2λとして出射すると共に、前記第2可変波長板において、前記透過光の波長をλとしたとき、前記位相差を3/4λとして出射した状態で、前記試料を透過する光の強度の計測を行うK11測定ステップと、 を有する円二色性計測方法。
IPC (3件)：
G01N 21/19 ( 200 6.01) ,  G01N 21/21 ( 200 6.01) ,  G01J 4/04 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01N 21/19 ,  G01N 21/21 Z ,  G01J 4/04 Z
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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