基板搬送ロボットおよび基板処理システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：名塚聡 , 井上満
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016075309
公開番号（公開出願番号）：WO2017-038811
出願日： 2016年08月30日
公開日（公表日）： 2017年03月09日
要約：

基板搬送ロボット(1)の制御手段(12)は、ブレード部材進入動作と、基板受取り動作と、基板載置動作とを、ロボットアーム(4)および基板保持装置(7)に実施させる。基板保持装置(7)は、一対のブレード部材(25,26)が上下方向に配置された第1稼働状態と、一対のブレード部材(25,26)が上下方向から外れた位置に配置され、単一のブレード部材を基板載置構造に進入可能とする第2稼働状態とを切り換え可能に構成されている。基板載置構造の種類にかかわらず、基板搬送時のタクトタイムを短縮できる。

請求項（抜粋）：

基板を保持して搬送するための基板搬送ロボットであって、ロボットアームと、前記ロボットアームに装着された基板保持装置と、前記ロボットアームおよび前記基板保持装置を制御するための制御装置と、を備え、前記基板保持装置は、上下方向に配置され、それぞれが前記基板を保持できる一対のブレード部材と、前記一対のブレード部材の一方を前記一対のブレード部材の他方に対して上下方向に相対的に移動させるためのブレード昇降手段を有し、前記制御手段は、前記一対のブレード部材の一方を基板保持状態とし、前記一対のブレード部材の他方を基板非保持状態として、上段および下段を有する基板載置構造に前記一対のブレード部材を進入させるブレード部材進入動作と、前記上段および前記下段の一方に載置された前記基板を前記基板非保持状態にある前記ブレード部材で受け取る基板受取り動作と、前記基板保持状態にある前記ブレード部材の前記基板を前記上段および前記下段の他方に載置する基板載置動作と、を前記ロボットアームおよび前記基板保持装置に実施させ、前記基板保持装置は、前記一対のブレード部材が上下方向に配置された第1稼働状態と、前記一対のブレード部材が上下方向から外れた位置に配置され、単一の前記ブレード部材を前記基板載置構造に進入可能とする第2稼働状態とを切り換え可能に構成されている、基板搬送ロボット。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , B25J 9/06 , B25J 15/00

FI (3件)：

H01L21/68 A , B25J9/06 D , B25J15/00 C

Fターム (23件)：

3C707AS24 , 3C707BS15 , 3C707DS05 , 3C707ES17 , 3C707HS13 , 3C707NS12 , 5F131AA02 , 5F131CA32 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA64 , 5F131DA68 , 5F131DB03 , 5F131DB15 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB76 , 5F131EB72 , 5F131GA14 , 5F131KA15 , 5F131KA16 , 5F131KA52 , 5F131KB32

前のページに戻る