Mn系強磁性薄膜の製造方法およびMn系強磁性薄膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-091338
公開番号（公開出願番号）：特開2018-188700
出願日： 2017年05月01日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
要約：

【課題】垂直磁化容易軸および高磁気異方性を有し、表面粗さが小さく、MTJなどの素子に使用することができるMn系強磁性薄膜の製造方法およびMn系強磁性薄膜を提供する。【解決手段】スパッタリングにより、200°C〜375°Cの基板上に、溶解法で製造されたターゲットを使用して、50〜60at%のMnと40〜50at%のAlとを含む合金から成り、磁化容易軸が膜の表面に対して垂直に配向した薄膜を成膜した後、300°C以上375°C以下の温度で、100分以内の熱処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スパッタリングにより基板上に、50〜60at%のMnと40〜50at%のAlとを含む合金から成り、磁化容易軸が膜の表面に対して垂直に配向した薄膜を成膜後、300°C以上375°C以下の温度で、100分以内の熱処理を行うことを特徴とするMn系強磁性薄膜の製造方法。

IPC (9件)：

C23C 14/58 , H01L 43/08 , H01L 43/12 , H01L 43/10 , H01L 21/823 , H01L 27/105 , H01F 10/12 , H01F 41/18 , C23C 14/14

FI (8件)：

C23C14/58 D , H01L43/08 Z , H01L43/12 , H01L43/08 M , H01L27/105 447 , H01F10/12 , H01F41/18 , C23C14/14 F

Fターム (32件)：

4K029AA04 , 4K029AA24 , 4K029BA16 , 4K029BA21 , 4K029BA23 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BC06 , 4K029CA05 , 4K029EA08 , 4K029GA01 , 4M119AA19 , 4M119BB01 , 4M119CC05 , 4M119JJ03 , 4M119JJ09 , 5E049AA10 , 5E049BA30 , 5E049CB01 , 5E049EB06 , 5E049GC01 , 5F092AA11 , 5F092AB06 , 5F092AC12 , 5F092AD23 , 5F092AD25 , 5F092BB24 , 5F092BB44 , 5F092BE12 , 5F092BE21 , 5F092CA02 , 5F092CA25

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平4-127508

審査官引用 (2件)

特開平4-127508
特開平4-127508

引用文献：

出願人引用 (2件)

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