特許

J-GLOBAL ID：201803001057060001

Mn系強磁性薄膜の製造方法およびMn系強磁性薄膜

発明者： 大兼 幹彦 ,  安藤 康夫 ,  渡部 健太
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-091338
公開番号（公開出願番号）：特開2018-188700
出願日： 2017年05月01日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
要約：

【課題】垂直磁化容易軸および高磁気異方性を有し、表面粗さが小さく、MTJなどの素子に使用することができるMn系強磁性薄膜の製造方法およびMn系強磁性薄膜を提供する。【解決手段】スパッタリングにより、200°C〜375°Cの基板上に、溶解法で製造されたターゲットを使用して、50〜60at%のMnと40〜50at%のAlとを含む合金から成り、磁化容易軸が膜の表面に対して垂直に配向した薄膜を成膜した後、300°C以上375°C以下の温度で、100分以内の熱処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スパッタリングにより基板上に、50〜60at%のMnと40〜50at%のAlとを含む合金から成り、磁化容易軸が膜の表面に対して垂直に配向した薄膜を成膜後、300°C以上375°C以下の温度で、100分以内の熱処理を行うことを特徴とするMn系強磁性薄膜の製造方法。

IPC (9件)：

C23C 14/58 ,  H01L 43/08 ,  H01L 43/12 ,  H01L 43/10 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/105 ,  H01F 10/12 ,  H01F 41/18 ,  C23C 14/14

FI (8件)：

C23C14/58 D ,  H01L43/08 Z ,  H01L43/12 ,  H01L43/08 M ,  H01L27/105 447 ,  H01F10/12 ,  H01F41/18 ,  C23C14/14 F

Fターム (32件)：

4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA16 ,  4K029BA21 ,  4K029BA23 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC06 ,  4K029CA05 ,  4K029EA08 ,  4K029GA01 ,  4M119AA19 ,  4M119BB01 ,  4M119CC05 ,  4M119JJ03 ,  4M119JJ09 ,  5E049AA10 ,  5E049BA30 ,  5E049CB01 ,  5E049EB06 ,  5E049GC01 ,  5F092AA11 ,  5F092AB06 ,  5F092AC12 ,  5F092AD23 ,  5F092AD25 ,  5F092BB24 ,  5F092BB44 ,  5F092BE12 ,  5F092BE21 ,  5F092CA02 ,  5F092CA25

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-127508