波長変換素子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保立浩一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-217660
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079216
特許番号：特許第6273762号
出願日： 2013年10月18日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】非線形光学効果を示す強誘電体結晶で形成された結晶基板の厚さ方向に垂直な方向において周期的に分極が反転している構造の波長変換素子を製造する方法であり、結晶基板の一方の面に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、絶縁層をラインアンドスペースのパターンにするパターン形成工程と、パターン形成工程の後に前記絶縁層を加熱する加熱工程と、形成された絶縁層のラインアンドスペースのパターンを利用して結晶基板に周期的に電圧を印加する電圧印加工程とを有しており、前記加熱工程での加熱により結晶基板の温度が変化している際、結晶基板の表面を除電することを特徴とする波長変換素子の製造方法。

IPC (1件)：