特許

J-GLOBAL ID：201803001244744500

支持装置及び検査方法

発明者： 伊佐見 忠夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 江上 達夫 ,  中村 聡延
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-112886
公開番号（公開出願番号）：特開2018-138932
出願日： 2018年06月13日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：

【課題】任意の保持対象物を空間内に保持しつつ、当該空間を形成する所定面に任意の接近対象物を接近させることが可能な支持装置を提供する。【解決手段】支持装置(1)は、柱状の第1部材(12)と、第1部材の外面(122c)の少なくとも一部と対向可能な内面(13b)を備え、且つ、内面によって規定される筒内に第1部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第2部材(13)とを備え、第1及び第2部材の状態は、第1状態から第2状態へと遷移可能であり、第1状態は、第2部材の内面の少なくとも一部(13b-1)と外面とは異なる第1部材の一方側の端面(122a)とによって囲まれる所定空間(SP1)が確保されている状態を含み、第2状態は、第1状態における第1及び第2部材の位置を基準として、第1部材に対して第2部材が他方側に向かって相対的に移動している状態を含む。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

柱状の第1部材と、 前記第1部材の外面の少なくとも一部と対向可能な内面を備え、且つ、前記内面によって規定される筒内に前記第1部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第2部材と を備えており、 前記第1及び第2部材の状態は、第1状態から第2状態へと遷移可能であり、 前記第1状態は、前記第2部材の前記内面の少なくとも一部と前記外面とは異なる前記第1部材の一方側の端面とによって囲まれる所定空間が確保されている状態を含み、 前記第2状態は、前記第1状態における前記第1及び第2部材の位置を基準として、前記第1部材に対して前記第2部材が前記一方側とは逆の他方側に向かって相対的に移動している状態を含む ことを特徴とする支持装置。

IPC (2件)：

G01N 35/02 ,  G01N 37/00

FI (2件)：

G01N35/02 A ,  G01N37/00 102

Fターム (4件)：

2G058CC09 ,  2G058CC14 ,  2G058CC17 ,  2G058CC18