特許

J-GLOBAL ID：201803001301556448

インプリント材吐出装置

発明者： 新井 剛 ,  三田 裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-129042
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006470
出願日： 2016年06月29日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】 インプリント材を撹拌するポンプと、インプリント材の吐出部材からの吐出を制御する制御基板とを有していても、インプリントを良好に行うことが可能なインプリント材吐出装置を提供すること。【解決手段】 基板上でモールドを接触させてパターンを形成するインプリント材を内部に収容する収容部を有する収容部材と、前記収容部の内部のインプリント材を撹拌するポンプと、前記インプリント材を前記基板上に吐出する吐出部材と、前記吐出部材からのインプリント材の吐出を制御する制御基板と、を有するインプリント材吐出装置であって、前記ポンプ及び前記制御基板はカバーによって覆われてカバーの内部に配置されており、前記カバーには前記カバーの内部と外部とを連通させる複数の開口が開口している。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

基板上でモールドを接触させてパターンを形成するインプリント材を内部に収容する収容部を有する収容部材と、前記収容部の内部のインプリント材を撹拌するポンプと、前記インプリント材を前記基板上に吐出する吐出部材と、前記吐出部材からのインプリント材の吐出を制御する制御基板と、を有するインプリント材吐出装置であって、 前記ポンプ及び前記制御基板はカバーによって覆われてカバーの内部に配置されており、前記カバーには前記カバーの内部と外部とを連通させる複数の開口が開口している、ことを特徴とするインプリント材吐出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 ,  B05C 15/00 ,  B05C 11/10 ,  B29C 59/02

FI (5件)：

H01L21/30 502D ,  B05C5/00 101 ,  B05C15/00 ,  B05C11/10 ,  B29C59/02 Z

Fターム (36件)：

4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA32 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA07 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042CA01 ,  4F042CA06 ,  4F042CB02 ,  4F042CB20 ,  4F042CB25 ,  4F042DB42 ,  4F042DE01 ,  4F042DE09 ,  4F042ED06 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AM30 ,  4F209AR12 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31