特許

J-GLOBAL ID：201803001489562954

光電変換膜、光電変換膜の製造方法、光電変換素子、固体撮像素子

発明者： 為村 成亨 ,  萩原 啓 ,  渡部 俊久 ,  宮川 和典 ,  難波 正和 ,  大竹 浩 ,  久保田 節
出願人/特許権者： 日本放送協会
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-134539
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006656
出願日： 2016年07月06日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】十分な厚みを有し、かつ表面平坦性の良好な結晶セレン膜を含む光電変換膜、およびその製造方法を提供する。【解決手段】接合膜と、前記接合膜上に形成された結晶セレン膜とを有し、前記結晶セレン膜は、厚みが0.1〜5μmであり、表面の平均面粗さが5nm以下である光電変換膜とする。接合膜上に、アモルファスセレン膜と金属膜とをこの順に形成してから熱処理することにより、厚みが0.1〜5μmであり、表面の平均面粗さが5nm以下である結晶セレン膜を形成する熱処理工程を有する光電変換膜の製造方法とする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

接合膜と、前記接合膜上に形成された結晶セレン膜とを有し、 前記結晶セレン膜は、厚みが0.1〜5μmであり、表面の平均面粗さが5nm以下であることを特徴とする光電変換膜。

IPC (3件)：

H01L 31/10 ,  H01L 27/146 ,  H01L 21/20

FI (3件)：

H01L31/10 A ,  H01L27/14 E ,  H01L21/20

Fターム (37件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118CA03 ,  4M118CB01 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118HA26 ,  5F152AA13 ,  5F152BB08 ,  5F152BB09 ,  5F152CC02 ,  5F152CD13 ,  5F152CD16 ,  5F152CD17 ,  5F152CE01 ,  5F152CE08 ,  5F152CE16 ,  5F152CE24 ,  5F152CF03 ,  5F152CF17 ,  5F152FF21 ,  5F849AA03 ,  5F849AB01 ,  5F849BA30 ,  5F849BB03 ,  5F849CB06 ,  5F849CB07 ,  5F849CB11 ,  5F849FA02 ,  5F849FA04 ,  5F849FA05 ,  5F849GA02 ,  5F849GA05 ,  5F849LA02 ,  5F849XB14

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光電変換素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-093027   出願人：日本放送協会
• 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、積層型固体撮像素子および太陽電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-109207   出願人：日本放送協会
• 受光素子アレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-128748   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭61-226974
  

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-226974
  
• 光電変換素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-093027   出願人：日本放送協会
• 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、積層型固体撮像素子および太陽電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-109207   出願人：日本放送協会
• 受光素子アレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-128748   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭61-226974