特許

J-GLOBAL ID：201803001540466787

分光測定方法および分光測定装置

発明者： 高松 哲郎 ,  原田 義規 ,  熊本 康昭 ,  田中 秀央 ,  右近 寿一郎 ,  岩橋 賢知 ,  河村 明徳 ,  星野 真一 ,  津田 雄一郎 ,  松村 淳一
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社 ,  京都府公立大学法人 ,  株式会社右近工舎 ,  有限会社オプトニカ
代理人 (1件)： 特許業務法人矢野内外国特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-000402
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109568
出願日： 2017年01月05日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】所定の領域を構成する構造体の特定を短時間で精度よく正確に行うことができる分光測定方法および分光測定装置を提供する。【解決手段】試料Sに撮影用照明光L3を照射し、分光用照明光であるレーザー光L1を複数の箇所に照射する照射工程と、試料Sの形態とレーザー光L1の複数の照射点とからなる画像Vを取得する画像取得工程と、レーザー光L1によって励起される光を分光測定する分光測定工程と、試料Sの画像Vにおいて、画像情報から同一の構造体で構成される画像領域である第1画像領域Ar1等を抽出し、抽出した各画像領域を閉領域として分割する画像処理工程と、分光測定結果を各画像領域に分割された試料Sの画像におけるレーザー光L1の照射点に重ね合わせ、各画像領域内におけるレーザー光L1の複数の照射点の分光測定結果に基づいて各画像領域の構造体を特定する領域判定工程と、から構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に撮影用照明光と分光用照明光とを照射し、撮影用カメラによって前記試料の形態と前記分光用照明光の照射点の画像を取得しつつ、前記分光用照明光によって励起される光を分光測定する分光測定方法であって、 前記試料に前記撮影用照明光を照射し、前記分光用照明光を複数の箇所に照射する照射工程と、 前記試料の形態の画像と前記分光用照明光の複数の照射点の画像とを取得する画像取得工程と、 前記分光用照明光によって複数の照射点から励起される光をそれぞれ分光測定する分光測定工程と、 取得した前記試料の形態の画像において、画像情報から同一の構造体で構成される画像領域を抽出し、抽出した各画像領域を閉領域として分割する画像処理工程と、 前記分光用照明光の複数の照射点毎の分光測定結果を前記各画像領域に分割された前記試料の形態の画像における前記分光用照明光の複数の照射点に重ね合わせ、前記各画像領域内における前記分光用照明光の複数の照射点の分光測定結果に基づいて前記各画像領域の構造体を特定する領域判定工程と、 から構成される分光測定方法。

IPC (5件)：

G01J 3/10 ,  G01N 21/65 ,  G01J 3/46 ,  G01J 3/36 ,  G02B 21/00

FI (5件)：

G01J3/10 ,  G01N21/65 ,  G01J3/46 Z ,  G01J3/36 ,  G02B21/00

Fターム (42件)：

2G020AA04 ,  2G020AA08 ,  2G020CB23 ,  2G020CC02 ,  2G020CC47 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD24 ,  2G020CD34 ,  2G020CD37 ,  2G020DA02 ,  2G020DA03 ,  2G020DA04 ,  2G020DA12 ,  2G020DA22 ,  2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA01 ,  2G043EA02 ,  2G043EA03 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA02 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA09 ,  2G043HA15 ,  2G043JA04 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043MA16 ,  2G043NA01 ,  2G043NA05 ,  2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC34 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14