特許

J-GLOBAL ID：201803001855356769

三次元座標測定装置

発明者： 菅野 幸男 ,  五味 圭一郎 ,  藤田 隆
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-074878
公開番号（公開出願番号）：特開2018-124288
出願日： 2018年04月09日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：

【課題】測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供する。【解決手段】測定対象物を載置する定盤と、測定プローブを支持し、定盤を跨いで定盤のY軸方向に移動する二つの支柱部材で支持されるYキャリッジと、を備え、二つの支柱部材は、YキャリッジをY軸方向に駆動する駆動機構をもつ第1の支柱部材と、第1の支柱部材に追従移動する第2の支柱部材とを有し、定盤の第1の支柱部材側には、Y軸方向に平行なガイド部を形成し、ガイド部の側面であるガイド部側面を挟み込むことにより、第1の支柱部材を定盤に支持させる側面支持部と、Y軸方向に平行に延びてYキャリッジの位置を検出するスケールと、を有する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

測定対象物を載置する定盤と、 測定プローブを支持し、前記定盤を跨いで前記定盤のY軸方向に移動する二つの支柱部材で支持されるYキャリッジと、を備え、 前記二つの支柱部材は、前記Yキャリッジを前記Y軸方向に駆動する駆動機構をもつ第1の支柱部材と、前記第1の支柱部材に追従移動する第2の支柱部材とを有し、 前記定盤の前記第1の支柱部材側には、前記Y軸方向に平行なガイド部を形成し、 前記ガイド部の側面であるガイド部側面を挟み込むことにより、前記第1の支柱部材を前記定盤に支持させる側面支持部と、 前記Y軸方向に平行に延びて前記Yキャリッジの位置を検出するスケールと、 を有する三次元座標測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ,  G01B 5/00

FI (2件)：

G01B21/00 L ,  G01B5/00 L

Fターム (16件)：

2F062AA04 ,  2F062CC07 ,  2F062EE01 ,  2F062FF02 ,  2F062FG01 ,  2F062FG07 ,  2F062FG10 ,  2F062HH01 ,  2F062MM06 ,  2F069AA04 ,  2F069DD09 ,  2F069GG01 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ01 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-235514
  
• 特開昭64-035310