特許
J-GLOBAL ID：201803002122879800
化学気相蒸着システム及びプロセスにおいて熱均一性を向上させるプロセス特異的ウェハーキャリアー補正
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-508664
公開番号（公開出願番号）：特表2018-525527
出願日： 2016年08月16日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：
化学気相蒸着(CVD)システム用ウェハーキャリアーの加熱均一性に対する改良を、CVDシステムの物理的及び動作的な特性に応じて構築された計算的な熱モデルに基づいて成すことができる。熱モデルの動作がシミュレーションされ、ここで、仮想CVDシステム内で生じる伝熱を含む該CVDシステム上で実施されることとなるプロセスレシピがモデル化され、仮想ウェハーキャリアーの少なくとも1つの関心領域における1組の熱的空間的非一様性を生じさせる。該少なくとも1つのウェハー保持ポケットの各々のポケット床に対してなされるべき構造的補正が、該1組の熱的空間的非一様性と、該ポケット床を補正して該少なくとも1つの関心領域の全体にわたって熱均一性の増加を達成するための少なくとも1つの設計ルールを規定する予め規定された熱-ポケット床関係とに基づいて決定される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
化学気相蒸着(CVD)システム用ウェハーキャリアーをカスタマイズするためのシステムであって、
該ウェハーキャリアーが、中心軸の周りに対称的に形成されたウェハーキャリアー本体と、該中心軸に対して垂直に位置する概して平面状の上面と、該ウェハーキャリアー本体において該上面から窪んだ少なくとも1つのウェハー保持ポケットであって、該少なくとも1つのウェハー保持ポケットの各々が、床面と、該床面を囲みかつ該ウェハー保持ポケットの周辺部を画定する周壁面とを含む、前記ウェハー保持ポケットとを有し、
該システムが:
少なくとも1つのプロセッサー、少なくとも1つのデータ記憶装置、及び入力/出力設備を有するコンピューティングハードウェアを含むコンピューティングプラットフォームであって、該少なくとも1つのデータ記憶装置が、該コンピューティングプラットフォーム上で実行される場合に、該コンピューティングプラットフォームに:
(a)該ウェハーキャリアーを含む該CVDシステムの物理的及び動作的な特性、並びに(b)該CVDシステム上で実施されることとなるプロセスレシピを規定するプロセスパラメーターを読み込み、かつ該物理的及び動作的な特性に基づいて、仮想CVDシステムを表現したものである熱モデルを生じさせる熱モデルジェネレーターエンジンと;
該仮想CVDシステムにおいて生じる伝熱のモデル化を含む該プロセスレシピの少なくとも一部を実施する該熱モデルの動作を計算的にシミュレーションする熱モデルシミュレーターエンジンであって、該プロセスレシピの1以上のステージで、該熱モデルの一部としてモデル化された仮想ウェハーキャリアーの少なくとも1つのウェハー保持ポケットの少なくとも1つの関心領域における1組の熱的空間的非一様性を生じさせる、前記熱モデルシミュレーターエンジンと;
該熱モデルの一部としてモデル化された、該ウェハーキャリアーの該少なくとも1つのウェハー保持ポケットの各々の該ポケット床に対する構造的補正を表現したものを計算的に生じさせるポケット床補正エンジンであって、該構造的補正が、該1組の熱的空間的非一様性と、該ポケット床を補正して該少なくとも1つの関心領域の全体にわたって熱均一性の増加を達成するための少なくとも1つの設計ルールを規定する予め規定された熱-ポケット床関係とに基づくものである、前記ポケット床補正エンジンと
を実行させる命令を含む、前記コンピューティングプラットフォームと、
該ウェハーキャリアーが、該熱モデルに対して最適化されるように、該ウェハーキャリアー本体上に、該構造的補正を表現したものに対応する物理的な構造的補正を機械的に形成するよう構成された輪郭形成装置と
を備える、前記システム。
IPC (3件)：
C23C 16/46
, C23C 16/458
, H01L 21/205
C23C16/46
, C23C16/458
, H01L21/205
4K030CA04
, 4K030CA05
, 4K030CA12
, 4K030GA02
, 4K030GA06
, 4K030HA13
, 4K030JA10
, 4K030KA23
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 4K030LA14
, 4K030LA15
, 5F045BB01
, 5F045DP15
, 5F045DP27
, 5F045EK07
, 5F045EK14
, 5F045EM02
, 5F045EM10
, 5F045GB05
, 5F045GB17
