特許
J-GLOBAL ID：201803002174475600
弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016075885
公開番号（公開出願番号）：WO2017-043427
出願日： 2016年09月02日
公開日（公表日）： 2017年03月16日
要約：
Q値が高く、圧電膜の膜厚ばらつきによる特性のばらつきが少ない弾性波装置を提供する。 高音速部材としての高音速支持基板3上に、低音速膜4、圧電膜5及びIDT電極6がこの順序で積層されている、弾性波装置1。IDT電極6の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、圧電膜5の膜厚が、1.5λを超え、3.5λ以下である。高音速支持基板3を伝搬するバルク波音速は、圧電膜5を伝搬する弾性波音速よりも高速である。低音速膜4を伝搬するバルク波音速は、圧電膜5を伝搬する弾性波音速よりも低速である。
請求項（抜粋）：
圧電膜を有する弾性波装置であって、
前記圧電膜を伝搬する弾性波音速よりも、伝搬するバルク波音速が高速である高音速部材と、
前記高音速部材上に積層されており、前記圧電膜を伝搬する弾性波音速よりも、伝搬するバルク波音速が低速である低音速膜と、
前記低音速膜上に積層されている、前記圧電膜と、
前記圧電膜の一方面に形成されているIDT電極とを備え、
前記圧電膜の膜厚が、前記IDT電極の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、1.5λを超え、3.5λ以下とされている、弾性波装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5J097AA01
, 5J097AA36
, 5J097BB15
, 5J097DD29
, 5J097EE08
, 5J097EE10
, 5J097FF05
, 5J097GG03
, 5J097KK05
, 5J097KK07
, 5J097KK09
, 5J097LL06
