特許
J-GLOBAL ID：201803002508180541

光検出装置

発明者：
柴山 勝己

柴山 勝己 について

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笠原 隆

笠原 隆 について

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廣瀬 真樹

廣瀬 真樹 について

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川合 敏光

川合 敏光 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  小松 秀輝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-020885
公開番号（公開出願番号）：特開2018-077257
出願日： 2018年02月08日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：
【課題】小型化が可能な光検出装置を提供すること。【解決手段】分光センサ1は、搭載基板と、光検出器3と、スペーサ4と、ファブリペロー干渉フィルタ10と、を備える。スペーサ4は、ファブリペロー干渉フィルタ10を支持しており、スペーサ4は、周囲領域R1の内側と周囲領域R1の外側とを連通する開口部A1を形成する。ファブリペロー干渉フィルタ10は、支持体と、第1ミラー31と、第1ミラー31に対して移動可能な第2ミラー41と、を有する。スペーサ4とファブリペロー干渉フィルタ10とは、樹脂材料により形成されたダイボンド樹脂5によって互いに固定される。第1ミラー31と第2ミラー41とが対向する方向における空隙Sの厚さは、ファブリペロー干渉フィルタ10の支持体の厚さよりも小さい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
主面を有する搭載基板と、 前記搭載基板の前記主面上に配置された光検出器と、 前記搭載基板の前記主面上において前記光検出器の周囲に設けられた支持部材と、 光透過領域を有し、前記支持部材を介して前記搭載基板の前記主面上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、を備え、 前記支持部材は、前記光透過領域の周囲領域において前記ファブリペロー干渉フィルタを支持しており、 前記支持部材は、前記光透過領域における光の透過方向から見た場合に、前記周囲領域の内側と前記周囲領域の外側とを連通する開口部を形成し、 前記ファブリペロー干渉フィルタは、支持体と、前記支持体に固定された第1ミラーと、前記第1ミラーと空隙を介して対向し、前記第1ミラーに対して移動可能な第2ミラーと、を有し、 前記支持部材と前記ファブリペロー干渉フィルタとは、樹脂材料により形成された接着部によって互いに固定され、 前記第1ミラーと前記第2ミラーとが対向する方向における前記空隙の厚さは、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記支持体の厚さよりも小さい、光検出装置。
IPC (5件)：
G01J 3/26 ,  G01J 3/36 ,  G02B 5/28 ,  H01L 31/023 ,  H01L 31/02
FI (5件)：
G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G02B5/28 ,  H01L31/02 D ,  H01L31/02 B
Fターム (21件)：
2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020CC23 ,  2G020CC55 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD24 ,  2H148GA01 ,  2H148GA09 ,  5F849BA25 ,  5F849BB07 ,  5F849JA03 ,  5F849JA07 ,  5F849JA09 ,  5F849JA13 ,  5F849KA06 ,  5F849KA17 ,  5F849LA01 ,  5F849XB02 ,  5F849XB05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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