特許

J-GLOBAL ID：201803002545892527

多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法

発明者： 着能 真 ,  淵上 真一郎
出願人/特許権者： パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人 (1件)： 廣幸 正樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016004113
公開番号（公開出願番号）：WO2018-047210
出願日： 2016年09月09日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
要約：

銅とモリブデンの多層膜をエッチングするエッチング液で、使用量を低減させることができるエッチング液を提供する。 過水を用いるエッチング液では、銅イオンによって過水が分解するため、多量のエッチング液を補充する。過酸化水素と、酸性有機酸と、アミン化合物と、過酸化水素分解抑制剤と、アゾール類と、アルミニウム塩を含む析出防止剤を含み、前記過酸化水素分解抑制剤としてエチレングリコールモノブチルエーテルを0.4質量%以上5質量%以下の割合で含み、前記アミン化合物がN,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミンであることを特徴とする多層膜用エッチング液は、銅イオンが増加しても過水分解速度を抑制でき、エッチング液の総使用量を低減できる。

請求項（抜粋）：

過酸化水素と、 酸性有機酸と、 アミン化合物と、 過酸化水素分解抑制剤と、 アゾール類と、 アルミニウム塩を含む析出防止剤を含み、 前記過酸化水素分解抑制剤としてエチレングリコールモノブチルエーテルを0.4質量%以上5質量%以下の割合で含み、 前記アミン化合物がN,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミンであることを特徴とする多層膜用エッチング液。

IPC (2件)：

C23F 1/18 ,  C23F 1/16

FI (2件)：

C23F1/18 ,  C23F1/16

Fターム (10件)：

4K057WA20 ,  4K057WB01 ,  4K057WB04 ,  4K057WE11 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WF01 ,  4K057WF10 ,  4K057WG06 ,  4K057WN01