特許
J-GLOBAL ID：201803002600488234
X線回折測定装置及びX線回折測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サンクレスト国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016058151
公開番号（公開出願番号）：WO2016-152654
出願日： 2016年03月15日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：
試料を所望の形状でX線回折測定を行うことができ、且つその測定精度を向上させることができるX線回折測定装置及びX線回折測定方法を提供する。X線回折測定装置1は、所定の第1回転軸C1回りに回転することで試料10を所定平面内で回転させる試料回転部22と、回転中の試料10に対してX線を照射するX線源3と、X線の光軸C0に対して直交した第2回転軸C2を中心とする円弧軌跡f上を移動することで試料10を透過して回折した回折X線12を検出する回折X線検出部4と、光軸C0と第2回転軸C2とを含む仮想平面において、試料10を中心として、第1回転軸C1を光軸C0に対して所定の鋭角度θで相対的に傾斜させる軸傾斜機構5とを備える。
請求項（抜粋）：
所定の第1回転軸回りに回転することで、試料を所定平面内で回転させる試料回転部と、
前記試料回転部により回転する前記試料に対してX線を照射するX線源と、
X線の光軸に対して直交した第2回転軸を中心とする円弧軌跡上を移動することで、前記試料を透過して回折した回折X線を検出する回折X線検出部と、
前記光軸と前記第2回転軸とを含む仮想平面において、前記試料回転部により回転する前記試料を中心として、前記第1回転軸を前記光軸に対して所定の鋭角度で相対的に傾斜させる軸傾斜機構と、
を備えることを特徴とするX線回折測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001KA08
, 2G001MA08
, 2G001QA01
