真空ポンプ用気体移送体およびこれを用いた真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-128638
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003646
出願日： 2016年06月29日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】高い真空性能や組立作業性を有し、しかもメンテンス面や寿命においても十分な効果が得られるようにする。【解決手段】回転シャフト7A・7Bに三枚の葉部Gからなる同一外形の複数ロータ9A・9B・10A・10B・11A・11B・12A・12B・13A・13Bが所定間隔をあけて一体に形成され、回転シャフト7A・7Bの低圧側から高圧側に向かって前記ロータ9A・9B・10A・10B・11A・11B・12A・12B・13A・13Bの厚みが段階的に薄く形成され、且つ各葉部Gは凸弧状山部Mと凹弧状谷部Vとで形成され、各葉部Gを構成する凸弧状山部Mとこれに連なる凹弧状谷部Vは単純な円弧曲線で一連に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転シャフトに三枚の葉部からなる同一外形の複数ロータが所定間隔をあけて一体に形成され、回転シャフトの低圧側から高圧側に向かってロータの厚みが段階的に薄く形成され、且つ各葉部は凸弧状山部と凹弧状谷部とで形成されている、真空ポンプ用気体移送体。

IPC (2件)：

F04C 18/18 , F04C 29/00

FI (3件)：

F04C18/18 B , F04C29/00 D , F04C29/00 B

Fターム (9件)：

3H129AA06 , 3H129AA15 , 3H129AB06 , 3H129BB21 , 3H129BB31 , 3H129BB32 , 3H129BB35 , 3H129CC05 , 3H129CC16

引用特許：

審査官引用 (7件)

ルーツ式真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053046 出願人：株式会社アンレット
ロータ及びそれを備えたルーツ式流体機械
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-068130 出願人：新明和工業株式会社
特開昭64-036992

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