特許

J-GLOBAL ID：201803002684975615

プラズマ処理装置のシャワープレートを検査する方法

発明者： 網倉 紀彦 ,  実吉 梨沙子
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-161147
公開番号（公開出願番号）：特開2018-029153
出願日： 2016年08月19日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
要約：

【課題】プラズマ処理装置のシャワープレートを検査する方法を提供する。【解決手段】 一態様に係る方法において検査されるプラズマ処理装置では、ガス吐出部がシャワープレートを有する。シャワープレートには、複数のガス吐出孔が形成されている。この方法は、(i)第1の流量制御器から出力されるガスの流量を設定する工程と、(ii)設定された流量で第1の流量制御器から出力されたガスがガス吐出部に供給され、且つ、第1の流量制御器とガス吐出部との間で分岐されて圧力制御式の第2の流量制御器の内部の流路に供給されている状態で、該第2の流量制御器の圧力計を用いて、該第2の流量制御器の内部の流路における圧力を示す測定値を取得する工程と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置のシャワープレートを検査する方法であって、 前記プラズマ処理装置は、 チャンバ本体と、 前記チャンバ本体によって提供されるチャンバ内に設けられた載置台と、 前記載置台の上方に設けられており且つ複数のガス吐出孔が形成された前記シャワープレートを有するガス吐出部と、 を備え、該方法は、 第1の流量制御器から出力されるガスの流量を設定する工程と、 設定された前記流量で前記第1の流量制御器から出力されたガスが前記ガス吐出部に供給され、且つ、前記第1の流量制御器と前記ガス吐出部との間で分岐されて圧力制御式の第2の流量制御器の内部の流路に供給されている状態で、該第2の流量制御器の圧力計を用いて、該第2の流量制御器の内部の前記流路における圧力を示す測定値を取得する工程と、 を含む方法。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L21/302 101G ,  H01L21/302 101B ,  H05H1/46 M ,  C23C16/52 ,  H01L21/31 C

Fターム (38件)：

2G084BB21 ,  2G084CC04 ,  2G084CC05 ,  2G084CC12 ,  2G084CC33 ,  2G084DD02 ,  2G084DD15 ,  2G084DD23 ,  2G084DD24 ,  2G084DD37 ,  2G084DD38 ,  2G084DD55 ,  2G084FF03 ,  2G084FF13 ,  2G084FF15 ,  2G084HH09 ,  2G084HH31 ,  2G084HH35 ,  2G084HH36 ,  4K030EA03 ,  4K030FA03 ,  4K030HA15 ,  4K030JA09 ,  4K030KA39 ,  5F004AA01 ,  5F004BA09 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB23 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004BC03 ,  5F045DP02 ,  5F045EB05 ,  5F045EC07 ,  5F045EE04 ,  5F045EF05 ,  5F045EM05