特許

J-GLOBAL ID：201803002727468020

触媒CVD装置及び触媒CVD法

発明者： 村田正義
出願人/特許権者： 村田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-077260
公開番号（公開出願番号）：特開2018-111887
出願日： 2018年04月13日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：

【課題】タングステン触媒体とシラン(SiH4)を含む原料ガスを用いる従来の触媒CVD装置は、Wのシリサイド化が生じ、触媒体機能の劣化のみならず、触媒体が断線する恐れがあり、装置の稼働率低下及び製品の歩留まり低下等を引き起こすという問題がある。Wのシリサイド化を防止可能で、かつ、4mx4m級大面積基板への対応が可能な触媒CVD装置及び方法を提供する。【解決手段】水素ガスと少なくともシランを含むガスからなる原料ガスの中の水素ガスのみを触媒体でラジカル化し、前記ラジカル化した水素と少なくともシランを含む原料ガスを接触混合させることにより、高品質のSi系薄膜形成の前駆体であるSiH3を含むラジカルを生成し、前記SiH3を含むラジカルを温度勾配及び濃度勾配による輸送現象で基板へ輸送することにより、Si系薄膜を形成するようにしたことを特徴とする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

被製膜基板が載置される基板保持手段を収納し排気手段を備えた反応容器と、前記反応容器に原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、前記原料ガスに触媒反応を起こす触媒体と、前記触媒体に電力を供給して所定の高温に維持する電力供給手段と、前記原料ガスを前記触媒体に誘導する原料ガス流れ制御手段と、を備えた触媒CVD装置であって、 前記原料ガス供給手段は、前記電力供給手段により供給される電力で高温に維持される前記触媒体で接触分解される第1の原料ガスを供給する第1の原料ガス供給手段と前記触媒体により接触分解をされない第2の原料ガスを供給する第2の原料ガス供給手段を備え、 前記原料ガス流れ制御手段は、前記第1の原料ガスを前記触媒体に接触させるように誘導して前記触媒体より前記第1の原料ガスのラジカル又は分解種を生成するラジカル生成領域を形成し、前記ラジカル生成領域で生成される前記第1の原料ガスのラジカル又は分解種と前記第2の原料ガス供給手段から供給される第2の原料ガスを接触混合させて気相中で製膜前駆体を生成する接触混合領域を形成し、前記接触混合領域で生成される製膜前駆体を温度勾配及び濃度勾配による輸送現象を利用して前記基板保持手段に載置された被製膜基板表面に輸送して堆積させるようにしたことを特徴とする触媒CVD装置。

IPC (4件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/318

FI (4件)：

C23C16/455 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 B ,  H01L21/318 B

Fターム (73件)：

4K030AA05 ,  4K030AA06 ,  4K030AA07 ,  4K030AA08 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA30 ,  4K030BA40 ,  4K030BB12 ,  4K030CA06 ,  4K030CA17 ,  4K030EA05 ,  4K030EA06 ,  4K030FA17 ,  4K030GA02 ,  4K030JA05 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA16 ,  4K030KA12 ,  4K030KA46 ,  4K030LA02 ,  4K030LA16 ,  5F045AA16 ,  5F045AB04 ,  5F045AB06 ,  5F045AB33 ,  5F045AC01 ,  5F045AC08 ,  5F045AC09 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AD04 ,  5F045AD05 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AE17 ,  5F045AE19 ,  5F045AE21 ,  5F045BB08 ,  5F045CA13 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045DQ11 ,  5F045EE20 ,  5F045EF03 ,  5F045EF05 ,  5F045EF08 ,  5F045EF13 ,  5F058BC08 ,  5F058BF02 ,  5F058BF23 ,  5F058BF25 ,  5F058BF26 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30 ,  5F058BF32 ,  5F058BF33 ,  5F058BG02 ,  5F151CA07 ,  5F151CA08 ,  5F151CA18 ,  5F151CA22 ,  5F151CA23 ,  5F151CA24 ,  5F151CA34 ,  5F151CA35 ,  5F151CA36 ,  5F151CA37 ,  5F151HA03