特許

J-GLOBAL ID：201803002792021458

圧電デバイス

発明者： 水沢 周一
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-146502
公開番号（公開出願番号）：特開2018-019175
出願日： 2016年07月26日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
要約：

【課題】小型化された場合でも気密性検査が容易な構造を有する圧電デバイス提供する。【解決手段】圧電デバイス10は、圧電振動片11と、第1励振用電極13aと、第2励振用電極13bと、第1引出電極15aと、第2引出電極15bと、容器17とを具える。そして、第1引出電極15aの一部に、この引出電極に対し電気的に直列接続された関係を持つセンサ部21を具える。このセンサ部21は、容器17内の気密性悪化によるこの容器内の雰囲気の変化に応じて電気的特性が変化する。この電気的特性の変化は圧電デバイス10の電気特性に現れる。これを利用して気密性検査をする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電振動片と、該圧電振動片の両主面に設けた励振用電極と、該励振用電極各々から前記圧電振動片の端部に引き出され導電性部材と接続される引出電極と、前記圧電振動片を収納している容器と、具える圧電デバイスにおいて、 前記引出電極の一部に、該引出電極に対し電気的に直列接続された関係を持ち、前記容器内の気密性悪化による前記容器内の雰囲気の変化に応じて電気的特性が変化するセンサ部を具えたことを特徴とする圧電デバイス。

IPC (2件)：

H03H 9/02 ,  H03H 9/19

FI (2件)：

H03H9/02 K ,  H03H9/19 F

Fターム (15件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF07 ,  5J108FF08 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG16 ,  5J108HH01 ,  5J108HH05 ,  5J108JJ04