特許

J-GLOBAL ID：201803002843187623

検査装置および変位量検出方法

発明者： 齊 藤 路 世
出願人/特許権者： 株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人 (7件)： 永井 浩之 ,  中村 行孝 ,  佐藤 泰和 ,  朝倉 悟 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  鈴木 健之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-209897
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072088
出願日： 2016年10月26日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：

【課題】空気揺らぎによる光の変位量を確実に検出できる検査装置および変位量検出方法を提供する。【解決手段】反射透過部材57の入射側の反射照明光学系5の光路内に配置され、光源21からの光の一部を、第1パターンを有する第1パターン光に整形する光整形部551と、反射透過部材57の出射側の反射照明光学系5の光路内に配置され、検査対象4側に反射された光に含まれる第1パターン光を、所定の反射率で反射透過部材57側に反射させる反射部材9と、反射部材9で反射された後に反射透過部材57を透過した第1パターン光を、第1パターンの一部を欠落した第2パターンを有する第2パターン光として部分的に透過させる第1スリット101が設けられたスリット部材10と、第2パターン光を検出し、第2パターンの変位量に応じた検出信号を出力する第2検出器32と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を検査対象側に反射させ、前記検査対象側に反射された光を前記検査対象で反射させた反射照明光を透過させる反射透過部材を有する反射照明光学系と、 前記反射透過部材を透過した前記反射照明光に基づいて前記検査対象の光学画像を検出する第1検出器と、 前記反射透過部材の入射側の前記反射照明光学系の光路内に配置され、前記光源からの光の一部を、第1パターンを有する第1パターン光に整形する光整形部と、 前記反射透過部材の出射側の前記反射照明光学系の光路内に配置され、前記検査対象側に反射された光に含まれる前記第1パターン光を、所定の反射率で前記反射透過部材側に反射させる反射部材と、 前記反射部材で反射された後に前記反射透過部材を透過した前記第1パターン光を、前記第1パターンの一部を欠落した第2パターンを有する第2パターン光として部分的に透過させる第1スリットが設けられたスリット部材と、 前記第2パターン光を検出し、前記第2パターン光の変位量に応じた検出信号を出力する第2検出器と、を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/84 ,  G01N 21/956 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

G01N21/84 Z ,  G01N21/956 A ,  G01B11/00 H

Fターム (36件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA23 ,  2F065BB02 ,  2F065BB22 ,  2F065CC18 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL31 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA56 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB03 ,  2G051EA04 ,  2G051EA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-129570   出願人：株式会社東芝, 日本電気株式会社, 株式会社トプコン
• 特開昭48-077888