特許
J-GLOBAL ID：201803002920510637
移動体装置、物体処理装置、露光装置、デバイス製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、物体交換方法、及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-076255
公開番号（公開出願番号）：特開2016-136646
特許番号：特許第6292417号
出願日： 2016年04月06日
公開日（公表日）： 2016年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体を下方から浮上支持する物体支持装置と、
浮上支持された前記物体を保持した状態で、前記物体支持装置に対して相対移動可能な移動体と、
前記物体を浮上支持可能な第1保持面を有し、前記物体支持装置の少なくとも一部と前記第1保持面とにより第1移動面を形成する第1支持装置と、
前記物体を浮上支持可能な第2保持面を有し、前記物体支持装置の少なくとも一部と前記第2保持面とにより第2移動面を形成する第2支持装置と、
前記物体支持装置上で浮上支持された前記物体を前記第1移動面に沿って前記第1保持面へ搬出するように第1方向へ移動させる第1搬送系と、前記物体を保持していた前記移動体が前記物体とは異なる別の物体を保持するように、前記物体支持装置上に前記物体の一部がある状態で、前記第2保持面に浮上支持された前記別の物体を、前記第2移動面に沿って前記物体支持装置へ搬入するように第2方向へ移動させる第2搬送系と、を含む搬送系と、を備え、
前記搬送系は、前記物体の搬出と前記別の物体の搬入とを一部並行して行う移動体装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, B65G 49/06 Z
