特許
J-GLOBAL ID:201803003007295361
部品実装装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮園 博一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-130857
公開番号(公開出願番号):特開2018-006542
出願日: 2016年06月30日
公開日(公表日): 2018年01月11日
要約:
【課題】吸着ヘッドによる吸着により測定対象物の高さ測定を行う場合に、測定対象物の高さを正確に測定することが可能な部品実装装置を提供する。【解決手段】この部品実装装置100は、ベアチップCを吸着するウエハヘッド61と、ウエハヘッド61と真空ポンプ11とを接続する負圧供給配管12と、負圧供給配管12に接続され、空気をリークさせるリーク部14と、リーク部14により空気をリークさせることによって、ウエハヘッド61の負圧を低下させて吸着力を小さくした状態で、ベアチップCの高さh1の測定の制御を行う制御部10と、を備える。【選択図】図4
請求項(抜粋):
部品を吸着する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドと負圧源とを接続する負圧供給配管と、
前記負圧供給配管に接続され、空気をリークさせるリーク部と、
前記リーク部により空気をリークさせることによって、前記吸着ヘッドの負圧を低下させて吸着力を小さくした状態で、測定対象物の高さ測定の制御を行う制御部と、を備える、部品実装装置。
IPC (3件):
H05K 13/04
, H05K 13/08
, B25J 15/06
FI (3件):
H05K13/04 B
, H05K13/08 N
, B25J15/06 N
Fターム (21件):
3C707AS08
, 3C707FS01
, 3C707FU04
, 3C707KS36
, 3C707MT04
, 3C707NS17
, 5E353BB03
, 5E353BC03
, 5E353BC04
, 5E353BC06
, 5E353EE02
, 5E353EE13
, 5E353EE25
, 5E353EE26
, 5E353EE53
, 5E353HH61
, 5E353JJ21
, 5E353JJ42
, 5E353JJ48
, 5E353KK03
, 5E353QQ12
引用特許: