特許
J-GLOBAL ID:201803003177773659

アライメント装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小平 晋 ,  河合 徹 ,  河口 伸子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-130229
公開番号(公開出願番号):特開2018-004883
出願日: 2016年06月30日
公開日(公表日): 2018年01月11日
要約:
【課題】表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能なアライメント装置を提供する。【解決手段】アライメント装置10は、表示パネル2が載置されるパネルステージ39と、パネルステージ39を回動させるとともにX方向とY方向とにパネルステージ39を移動させる移動機構40と、表示パネル2のエッジを検知するカメラ41とを備えている。パネルステージ39は、Y方向において、表示パネル2がカメラ41の下側に配置されるエッジ検知位置39Aとパネルステージ39から表示パネル2が搬出されるパネル搬出位置39Bとの間で移動可能となっており、移動機構40は、カメラ41での検知結果に基づいて表示パネル2の位置合わせを行いながらエッジ検知位置39Aからパネル搬出位置39Bまでパネルステージ39を移動させる。【選択図】図5
請求項(抜粋):
表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、 鉛直方向に直交する所定の方向を第1方向とし、前記第1方向と鉛直方向とに直交する方向を第2方向とすると、 前記表示パネルが載置されるパネルステージと、鉛直方向を回動の軸方向として前記パネルステージを回動させるとともに前記第1方向と前記第2方向とに前記パネルステージを移動させて前記表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、前記パネルステージよりも上側に配置され前記表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、 前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第1方向への移動可能量は、前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第2方向への移動可能量よりも大きくなっており、 前記パネルステージは、前記第1方向において、前記表示パネルが前記カメラの下側に配置されるエッジ検知位置と、前記パネルステージから前記表示パネルが搬出されるパネル搬出位置との間で移動可能となっており、 前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記表示パネルの位置合わせを行いながら前記エッジ検知位置から前記パネル搬出位置まで前記パネルステージを移動させることを特徴とするアライメント装置。
IPC (2件):
G09F 9/00 ,  G02F 1/13
FI (2件):
G09F9/00 338 ,  G02F1/13 101
Fターム (10件):
2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

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