特許
J-GLOBAL ID：201803003395639530
加熱装置および当該加熱装置を用いた半導体装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-125783
公開番号（公開出願番号）：特開2017-227419
出願日： 2016年06月24日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】常時開口している加熱装置において、収容スペース内への外気侵入を抑制し、昇温性能の高い加熱装置とする。【解決手段】加熱用または伝熱用の壁体(22、23、24、25)で区画されたスペースであって被加熱体(K1)を収容する収容スペース(21)が複数個配列されてなり、一面を前面、一面の反対側の面を背面とし、前面が常時開口している開口部(21a)とされ、背面が背部断熱板(26d)により閉塞された箱状の加熱炉(20)と、収容スペースの開口部を介して、収容スペースに対して被加熱体の投入および回収を行う搬送部(10)と、収容スペース内を通じて開口部へ流動させる熱風を送る送風口(29)と、送風口から収容スペースに対して送られる熱風の温度を調整する温度調整部(30)と、熱風の風量を調整する風量調整部(40)と、を備える加熱装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加熱用または伝熱用の壁体(22、23、24、25)で区画されたスペースであって被加熱体(K1)を収容する収容スペース(21)が複数個配列されてなり、一面を前面、前記一面の反対側の面を背面とし、前記前面が常時開口している開口部(21a)とされ、前記背面が背部断熱板(26d)により閉塞された箱状の加熱炉(20)と、
前記収容スペースの開口部を介して、前記収容スペースに対して前記被加熱体の投入および回収を行う搬送部(10)と、
前記収容スペース内を通じて前記開口部へ流動させる熱風を送る送風口(29)と、
前記送風口から前記収容スペースに対して送られる前記熱風の温度を調整する温度調整部(30)と、
前記熱風の風量を調整する風量調整部(40)と、を備える加熱装置。
IPC (6件)：
F27B 17/00
, F27B 5/16
, H05B 3/00
, F27B 5/14
, F27B 5/18
, F27D 7/06
F27B17/00 B
, F27B5/16
, H05B3/00 310D
, F27B5/14
, F27B5/18
, F27D7/06 C
3K058BA19
, 4K061AA01
, 4K061AA05
, 4K061BA11
, 4K061DA00
, 4K061DA05
, 4K061DA09
, 4K061EA10
, 4K061FA07
, 4K061FA13
, 4K061GA02
, 4K063AA01
, 4K063AA12
, 4K063AA15
, 4K063BA12
, 4K063CA03
, 4K063DA05
, 4K063DA13
, 4K063DA31
出願人引用 (2件)
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加熱装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-174497
出願人：株式会社九州日昌
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バッチ焼成炉
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-137144
出願人：東海高熱工業株式会社
審査官引用 (2件)
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加熱装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-174497
出願人：株式会社九州日昌
-
バッチ焼成炉
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-137144
出願人：東海高熱工業株式会社
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