特許
J-GLOBAL ID:201803003532386670
分流システム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 健司
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016073685
公開番号(公開出願番号):WO2017-033757
出願日: 2016年08月11日
公開日(公表日): 2017年03月02日
要約:
【課題】配置の自由度が高まり、集積化に適し、製造コストおよびメンテナンスコストが低減された分流システムを提供する。【解決手段】 単一の流量を複数の流量に分割し、分割された流量の比が設定流量比になるように各流量を制御する分流システムであって、単一の流量を複数の流量に分割するマニホールド500と、マニホールド500とは別体に形成され、複数の流量をそれぞれ制御する、互いに分離独立した複数の流体制御装置1M,1Sと、を有し、マスター装置1Mは、設定流量比に基づく設定流量値をスレーブ装置1Sへ送信するとともに、スレーブ装置1Sの流量検出値DQ2を受信する通信部102Mを有し、スレーブ装置1Sは、マスター装置1Mから設定流量値を受信するとともに流量検出値DQ2をマスター装置1Mに送信する通信部102Sを有する。【選択図】図3A
請求項(抜粋):
単一の流量を複数の流量に分割し、分割された流量の比が設定流量比になるように各流量を制御する分流システムであって、
単一の流量を複数の流量に分割する分岐機構と、
前記分岐機構とは別体に形成され、前記複数の流量をそれぞれ制御する、互いに分離独立した複数の流体制御装置と、を有し、
前記複数の流体制御装置の一つはマスター装置であり、残りの流体制御装置はスレーブ装置であり、
前記マスター装置は、前記設定流量比に基づく設定流量値を前記スレーブ装置へ送信し前記スレーブ装置の流量検出値を受信する通信部を有し、
前記スレーブ装置は、前記マスター装置から前記設定流量値を受信し前記流量検出値をマスター装置に送信する通信部を有する、
ことを特徴とする分流システム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
5H309AA02
, 5H309BB12
, 5H309BB14
, 5H309CC05
, 5H309DD08
, 5H309EE03
, 5H309FF01
, 5H309GG03
, 5H309JJ06
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