特許
J-GLOBAL ID：201803003544216834

エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

発明者：
後藤 雅彦

後藤 雅彦 について

, 
森田 徹

森田 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-075265
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105894
出願日： 2018年04月10日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
要約：
【課題】エンコーダ装置に電力を供給するバッテリーの交換の必要性を減らす、あるいは無くす。【解決手段】エンコーダ装置(EC)は、移動部(SF)の位置情報を検出する検出部(7)と、移動部の移動に伴って検出部と相対位置が変化する磁石(3)と、を含む位置検出系と、移動部の移動に伴う磁界の変化により電力が発生する発電部(4)と、発電部から出力された電力を所定電圧の電力に調整し、位置検出系で消費される電力の少なくとも一部を供給する電力調整部(8)と、を含む電力供給系とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1磁気センサ及び第2磁気センサを有し、移動部の回転軸の位置情報を検出する検出部と、 前記回転軸の回転に基づき前記検出部と相対位置が変化する磁石と、 第1感磁性部及び第2感磁性部を有し、前記移動部の回転による磁界の変化により生じるパルス状の電流に基づく電力が発生する発電部と、 前記電力を所定電圧の電力に調整し、前記検出部で消費される電力の少なくとも一部を供給する電力調整部と、 を備えるエンコーダ装置。
IPC (2件)：
G01D 5/12 ,  G01D 5/347
FI (2件)：
G01D5/12 C ,  G01D5/347 110L
Fターム (27件)：
2F077AA23 ,  2F077AA24 ,  2F077CC02 ,  2F077NN02 ,  2F077NN04 ,  2F077NN17 ,  2F077NN30 ,  2F077PP13 ,  2F077PP14 ,  2F077PP19 ,  2F077QQ03 ,  2F077QQ17 ,  2F077TT32 ,  2F077TT35 ,  2F077TT52 ,  2F077TT54 ,  2F077TT57 ,  2F077TT66 ,  2F077TT73 ,  2F077TT87 ,  2F103BA12 ,  2F103CA02 ,  2F103CA03 ,  2F103DA01 ,  2F103DA04 ,  2F103DA11 ,  2F103DA13
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 絶対値エンコーダ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-186368   出願人：株式会社安川電機
  • 特開平1-248019
  • 回転数検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-255881   出願人：三菱電機株式会社
審査官引用 (3件)
  • 絶対値エンコーダ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-186368   出願人：株式会社安川電機
  • 特開平1-248019
  • 回転数検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-255881   出願人：三菱電機株式会社

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