被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司 , 松本一騎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016087728
公開番号（公開出願番号）：WO2017-179243
出願日： 2016年12月19日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】可視光の波長程度の表面粗度を有する被検査体の表面に生じた表面粗度の数倍程度の凹凸欠陥等を高感度に発見し、被検査体の表面に存在する汚れと凹凸疵との区別を正確に行うとともに装置の小型化を図ること。【解決手段】本発明に係る被検査体撮像装置は、赤外波長帯域に属し、被検査体の表面において所定の広がり半角を有する光束を発生させる光源と、光束を所定の投射角で被検査体の表面に投射する投射光学系と、被検査体の表面からの反射光を撮像する撮像部とを備え、撮像部は、少なくとも1つの凸レンズを有し、反射光を集光しつつ当該反射光を二つの異なった方向へ分岐する撮像光学系と、撮像光学系を透過した各反射光を撮像する第1及び第2の撮像素子とを有しており、第1の撮像素子は反射光の光軸に沿って撮像光学系の被検査体の表面に共役な位置よりも被検査体側に位置し、第2の撮像素子は当該共役な位置よりも反射光の進行方向側に位置する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

赤外波長帯域に属する光束を発生させるものであり、被検査体の表面における前記光束の広がり半角が、撮像すべき表面の最小傾きの20倍以下である光源と、前記被検査体の表面に対して前記光束を所定の投射角で投射する投射光学系と、前記被検査体の表面で反射した前記光束を撮像する撮像部と、を備え、前記撮像部は、少なくとも1つの凸レンズを有し、前記被検査体の表面からの反射光を集光するものであり、当該反射光を2つの異なった方向へ分岐する分岐光学素子を有する撮像光学系と、前記撮像光学系を透過したそれぞれの前記反射光を撮像する第1の撮像素子及び第2の撮像素子と、を有しており、前記第1の撮像素子は、前記反射光の光軸に沿って、前記撮像光学系の前記被検査体の表面に共役な位置よりも前記被検査体側に設けられており、前記第2の撮像素子は、前記反射光の光軸に沿って、前記撮像光学系の前記共役な位置よりも前記反射光の進行方向側に設けられている、被検査体撮像装置。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 B

Fターム (11件)：

2G051AA37 , 2G051AB07 , 2G051BA06 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC20 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051ED08

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