特許
J-GLOBAL ID：201803003733267555
穴用レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
山田 卓二
, 田中 光雄
, 岡部 博史
, 稲葉 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-033891
公開番号（公開出願番号）：特開2018-138310
出願日： 2017年02月24日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：
【課題】不透明材料及び透明材料への深穴加工が可能な穴用レーザ加工装置を提供する。【解決手段】加工用試料格納容器10の内部に、雰囲気流体15を導入する配管と、加工用試料格納容器の内部の圧力制御部30と、加工用試料格納容器の内部の温度制御部4と、外部から内部にレーザ光34を導入するレーザ光学系とを備え、下記式によって得られる無次元化温度t1が300以上となるように、加工用試料格納容器の内部の雰囲気流体の温度及び圧力を制御して加工用試料に形成する穴の内部に雰囲気流体の対流を生じさせて、加工用試料に穴を形成する。(ここで、αは雰囲気流体の体積膨張率、gは重力加速度、νは雰囲気流体の動粘度、κは雰囲気流体の温度拡散率、T0は穴の外側の雰囲気流体の温度、T1は穴の内壁の温度、aは穴の半径、lは穴の深さである。)【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外部と内部とを区画する壁を有し、内部に加工用試料を格納し、外部から内部にレーザ光を導くための前記レーザ光を透過可能な窓部を前記壁に有する加工用試料格納容器と、
前記加工用試料格納容器の内部に、雰囲気流体を導入する雰囲気流体配管と、
前記加工用試料格納容器の内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記加工用試料格納容器の内部の温度を制御する温度制御部と、
前記窓部を介して、外部から内部にレーザ光を導入するレーザ光学系と、
を備え、下記式によって得られる無次元化温度t1が300以上となるように、前記圧力制御部と、前記温度制御部と、によって、前記加工用試料格納容器の内部の前記雰囲気流体の温度及び圧力を制御可能であって、前記加工用試料に形成する前記穴の内部に前記雰囲気流体の対流を生じさせて、前記加工用試料に穴を形成する穴用レーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/382
, B23K 26/12
, B23K 26/03
, C03B 33/09
B23K26/382
, B23K26/12
, B23K26/03
, C03B33/09
4E168AD11
, 4E168CA06
, 4E168CA11
, 4E168CB21
, 4E168DA60
, 4E168EA03
, 4E168FB01
, 4E168JA01
, 4E168JA14
, 4G015FA09
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC11
