特許
J-GLOBAL ID：201803003821297812
構造化マイクロキャリアの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
村山 靖彦
, 実広 信哉
, 阿部 達彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-523520
特許番号：特許第6223448号
出願日： 2013年07月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロキャリア(1)を製造するための方法であって、
(a)底部層(16)、頂部層(17)、及び前記底部層(16)と前記頂部層(17)との間に配置された絶縁層(18)を備えたサンドイッチ構造を有するウェーハ(15)を提供するステップと、
(b)前記頂部層(17)をエッチングして、前記頂部層(17)の頂面(19)の上に少なくとも一つの三次元構造(7a)を画定するステップと、
(c)前記頂部層(17)をエッチングして、マイクロキャリア(1)の本体(6)の側壁(22)を画定するステップであって、各本体(6)が該本体(6)の頂面(4)の上に少なくとも一つの三次元構造(7b)を備える、ステップと、
(d)前記マイクロキャリア(1)の本体(6)の頂面(4)の上に連続的なポリマー層(25、29)を適用するステップと、
(e)前記底部層(16)及び前記絶縁層(18)を除去するステップと、
(f)前記マイクロキャリア(1)の本体(6)の底面(5)を構造化して、各本体(6)の底面(7b)の上に少なくとも一つの三次元構造(7b)を画定するステップと、
(g)前記ポリマー層(25、29)を除去して、前記マイクロキャリアをリリースするステップと、を備えた方法。
IPC (3件)：
B81C 1/00 ( 200 6.01)
, G01N 37/00 ( 200 6.01)
, B81B 7/02 ( 200 6.01)
B81C 1/00
, G01N 37/00 102
, B81B 7/02
