差圧センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：蔵田昌俊 , 野河信久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-144225
公開番号（公開出願番号）：特開2018-013444
出願日： 2016年07月22日
公開日（公表日）： 2018年01月25日
要約：

【課題】測定時のカンチレバーの変形時に、流体漏れが発生する隙間を小さくし、高精度で広い測定レンジで圧力を測定する差圧センサを提供する。【解決手段】差圧センサは、内部に流体を含む気体室の開口を塞ぐように外縁同士を近接させて、開口近傍に傾動可能に設けられた複数のカンチレバーからなるカンチレバー群と、カンチレバー上で前記開口との接続部近傍に形成された検知部を有し、気体室の内側又は外側へ傾動するカンチレバーの外縁間から流体が流通し、検知部がカンチレバーの開口に対する傾動量を検出し、検出した傾動量から気体室の内外の差圧を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内部に気体を含む気体室及び、当該気体室の内外を連通する開口を形成する開口部が設けられるセンサ筐体と、前記センサ筐体の前記開口部に片持ち支持され、前記開口部を通過する前記気体の移動に従い傾動する、3つ以上となる複数のカンチレバーを有するカンチレバー群と、前記開口部から、前記複数のカンチレバーの各々の接続箇所に掛かるように形成された検知部と、を有し、前記カンチレバー群は、それぞれの前記カンチレバーを外縁同士が近接して前記開口を塞ぐように、前記開口の周囲に配置され、前記カンチレバーの一体的な傾動に伴って、前記外縁の間を含む隙間から前記気体が前記気体室の内外へ流通され、前記検知部は、前記気体室の内側又は外側へ傾動する前記カンチレバーの傾動量を検出し、検出した傾動量に基づいて前記気体室の内外の差圧を検出する差圧センサ。

IPC (1件)：

G01L 13/06

FI (1件)：

G01L13/06 R

Fターム (7件)：

2F055AA40 , 2F055BB14 , 2F055CC12 , 2F055DD04 , 2F055EE14 , 2F055FF07 , 2F055GG12

引用特許：

審査官引用 (1件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-208424 出願人：セイコーインスツル株式会社

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