特許
J-GLOBAL ID:201803004020687941

物理厚さ推定プログラム及び屈折率データ推定プログラム、並びに、物理厚さデータ推定システム及び屈折率データ推定システム

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-022657
公開番号(公開出願番号):特開2018-128400
出願日: 2017年02月09日
公開日(公表日): 2018年08月16日
要約:
【課題】物理厚さデータを推定することのできる物理厚さ推定プログラム、及びこれを用いた物理厚さデータ推定システム、並びに、これらを用いる屈折率データ推定プログラム、並びに、屈折率データ推定システムを提供する。【解決手段】本発明に係る屈折率データ推定プログラムは、コンピュータに、ホログラム画像データに基づき測定対象物の物理厚さデータを求めるステップ、ホログラム画像データに基づき測定対象物の位相差データを求めるステップ、前記物理厚さデータ及び前記位相差データに基づき前記測定対象物の屈折率データを求めるステップ、を実行させることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
コンピュータに、 ホログラム画像データに基づき測定対象物の物理厚さデータを求めるステップ、 ホログラム画像データに基づき測定対象物の位相差データを求めるステップ、 前記物理厚さデータ及び前記位相差データに基づき前記測定対象物の屈折率データを求めるステップ、を実行させるための、屈折率データ推定プログラム。
IPC (3件):
G01N 21/41 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/24
FI (3件):
G01N21/41 Z ,  G01B11/06 G ,  G01B11/24 D
Fターム (32件):
2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065BB22 ,  2F065BB23 ,  2F065CC16 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF48 ,  2F065FF54 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL47 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ32 ,  2F065SS13 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB14 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059FF02 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059MM01
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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