流量調整機構、希釈薬液供給機構、液処理装置及びその運用方法

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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：永井浩之 , 中村行孝 , 佐藤泰和 , 朝倉悟 , 森秀行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-020377
公開番号（公開出願番号）：特開2018-078343
出願日： 2018年02月07日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：

【課題】微小流量を精確に制御する。【解決手段】一実施形態において、流量調整機構(208)は、液体ライン(202)に上流側から順に直列に設けられた第1流量調整機器(208A)と第2流量調整機器(208B)とを備える。第1流量調整機器は、第2流量調整機器を全開にした場合に、液体ラインを流れる液体の流量が、予め設定された流量の所定倍になるような所定開度に調整される。第2流量調整機器は、第1流量調整機器の開度を上記の所定開度に調整した状態で、液体ラインを流れる液体の流量が、上記の予め設定された流量となるような開度に調整される。他の実施形態では、薬液ライン(202)を流れる薬液と希釈液ライン(222)を流れる希釈液とを混合部(234)で混合して希釈薬液を生成する希釈薬液供給機構において、薬液ラインを流れる薬液の流量が上記流量調整機構(208)により行われる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

液体ラインを流れる液体の流量を調整する流量調整機構であって、前記液体ラインに上流側から順に直列に設けられた第1流量調整機器と第2流量調整機器とを備え、前記第1流量調整機器は、前記第2流量調整機器を全開にした場合に、前記液体ラインを流れる液体の流量が、予め設定された流量の所定倍になるような所定開度に調整され、前記第2流量調整機器は、前記第1流量調整機器の開度を前記所定開度に調整した状態で、前記液体ラインを流れる前記液体の流量が、前記予め設定された流量となるような開度に調整されることを特徴とする流量調整機構。

IPC (7件)：

H01L 21/304 , B01F 3/08 , B01F 5/00 , B01F 15/02 , B01F 15/04 , B01D 19/00 , B01F 1/00

FI (7件)：

H01L21/304 648G , B01F3/08 Z , B01F5/00 D , B01F15/02 A , B01F15/04 A , B01D19/00 B , B01F1/00 Z

Fターム (29件)：

4D011AA01 , 4D011AD03 , 4G035AB37 , 4G035AC01 , 4G035AC29 , 4G035AE02 , 4G035AE10 , 4G035AE13 , 4G037AA02 , 4G037AA11 , 4G037AA18 , 4G037BA01 , 4G037BB06 , 4G037BB07 , 4G037BC03 , 4G037BD04 , 4G037BD06 , 4G037EA01 , 5F157AA63 , 5F157AA93 , 5F157BD25 , 5F157BE33 , 5F157CD34 , 5F157CE03 , 5F157CE32 , 5F157CE37 , 5F157CF14 , 5F157CF42 , 5F157CF60

引用特許：

審査官引用 (4件)

薬液調合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-214606 出願人：トキコ株式会社
処理液供給装置および処理液供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-080003 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-039059 出願人：東京エレクトロン株式会社

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