特許
J-GLOBAL ID：201803004157518756
プローブ針及び絶縁性皮膜付プローブ針製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-216022
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072283
出願日： 2016年11月04日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】プローブ針において、高価な装置を用いずに密着性に優れる絶縁性皮膜を設けることである。【解決手段】プローブ針10は、針材を先端側から所定の針先端長のところで所定の角度で曲げて形成されるプローブ針10であって、針材の先端側でない端部側を根元側として、針材の先端側から測って、所定の針先端長Aに所定の酸化処理余裕長さBを加えた長さである酸化膜領域長さCよりも根元側の部分には酸化膜が形成されない根元部分12と、酸化膜領域長さCに酸化膜が形成される先端側の先端部分14とを有し、針材の接触先端面は酸化膜が除去されている平坦面16である。針材は、貴金属材料または貴金属合金材料で構成されてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
針材を先端側から所定の針先端長のところで所定の角度で曲げて形成されるプローブ針であって、
針材は、
所定の針先端長の部分を含む先端部分が針材を酸化して針材の内部と表面にまたがって成長した酸化膜で覆われていることを特徴とするプローブ針。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/067 H
, H01L21/66 B
2G011AA02
, 2G011AA15
, 2G011AB06
, 2G011AC31
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
