特許

J-GLOBAL ID：201803004254220877

照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法

発明者： 池本 尚司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-193126
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054992
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】最小線幅の増大を抑制しつつ基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを低減できる照明光学系を提供すること。【解決手段】本発明は、投影露光装置において原版9光を照明するための照明光学系10に関する。照明光学系10は、第1波長P1の光と該第1波長よりも長波長である第2波長P2の光とが混在する光を射出する光源1と、光源1からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源を生成するオプティカルインテグレータ7と、2次光源の光強度分布に応じて、第1波長P1の光に対して第2波長P2の光を相対的に減光する減光手段61と、を有することを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

投影露光装置において原版を照明するための照明光学系であって、 第1波長の光と該第1波長よりも長波長である第2波長の光とが混在する光を射出する光源と、 前記光源からの光を光入射面で受け、光射出面側に2次光源を生成するオプティカルインテグレータと、 前記2次光源の光強度分布に応じて、前記第1波長の光に対して前記第2波長の光を相対的に減光する減光手段と、を有することを特徴とする照明光学系。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  G02B 19/00

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00

Fターム (11件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  2H197AA05 ,  2H197AA06 ,  2H197BA05 ,  2H197BA10 ,  2H197CA05 ,  2H197CB12 ,  2H197CB27