特許
J-GLOBAL ID：201803004420348453
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人筒井国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016062264
公開番号（公開出願番号）：WO2017-183082
出願日： 2016年04月18日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
要約：
重力下において、感度が高く、消費電力が低く、印加された加速度に対する出力の線形性が高い加速度センサを提供する。上記課題を解決するために、本発明による加速度センサは、ベース基板とキャップ基板との間に、回転軸を中心として回転する可動部を有し、キャップ基板に備わる左上部電極と可動部に備わる左可動電極とによって左コンデンサを構成し、キャップ基板に備わる右上部電極と可動部に備わる右可動電極とによって右コンデンサを構成する。そして、左上部電極と左可動電極との間で容量を検出する第1検出領域の左右方向の幅と、右上部電極と右可動電極との間で容量を検出する第2検出領域の左右方向の幅とが、互いに異なる。
請求項（抜粋）：
第1基板と、
前記第1基板から第1方向に離間して設けられた第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に設けられた、前記第1方向と直交する第2方向に沿った回転軸を中心として回転する可動部と、
を有し、
前記可動部は、前記第1方向と前記第2方向に直交する第3方向に前記回転軸を挟んで設けられた、第1可動電極と第2可動電極と、を備え、
前記第2基板は、前記第1可動電極に対向する第1検出電極と、前記第2可動電極に対向する第2検出電極と、を備え、
前記第1可動電極と前記第1検出電極との間で容量を検出する第1検出領域の前記第3方向の幅と、前記第2可動電極と前記第2検出電極との間で容量を検出する第2検出領域の前記第3方向の幅とが互いに異なる、加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01P 15/08
, H01L 29/84
G01P15/125 Z
, G01P15/08 101B
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112CA34
, 4M112DA03
, 4M112EA06
, 4M112FA01
, 4M112FA02
, 4M112FA20
, 4M112GA03
