特許
J-GLOBAL ID:201803004494618037

パターンを有する樹脂層を製造する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  酒巻 順一郎 ,  沖田 英樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-163113
公開番号(公開出願番号):特開2015-032775
特許番号:特許第6330269号
出願日: 2013年08月06日
公開日(公表日): 2015年02月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】有機フィルムである仮基材上に積層された樹脂層の、前記仮基材とは反対側の主面に凹凸パターンを有する型を押し当てて、前記凹凸パターンに対して反転したパターンを、前記樹脂層と前記仮基材とで形成させる第1工程と、 前記樹脂層から前記型を外す第2工程と、 前記樹脂層の前記仮基材とは反対側の主面上に基板を設ける第3工程と、 前記仮基材を前記樹脂層から剥離する第4工程と、をこの順に備える、パターンを有する樹脂層を製造する方法。
IPC (2件):
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/30 502 D ,  B29C 59/02 Z
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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