特許

J-GLOBAL ID：201803004524032725

角速度取得装置

発明者： 冨澤 泰 ,  山本 悠 ,  池橋 民雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130106
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004383
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】加工ばらつきが動作に影響しにくい角速度取得装置が提供される。【解決手段】実施形態によれば、角速度取得装置は、第1方向、およびコリオリ力に基づく第2方向に振動する可動体であって、前記第2方向に延びる可動電極部を有する可動体と、前記第2方向に延び、ギャップを隔てて前記可動電極部に対向する固定電極部を有するホールド電極と、前記固定電極部と前記可動電極部との間に配置され、前記固定電極部の前記可動電極部に対向する面よりも前記可動電極部側に位置する端部をもつストッパと、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1方向、およびコリオリ力に基づく第2方向に振動する可動体であって、前記第2方向に延びる可動電極部を有する可動体と、 前記第2方向に延び、ギャップを隔てて前記可動電極部に対向する固定電極部を有するホールド電極と、 前記固定電極部と前記可動電極部との間に配置され、前記固定電極部の前記可動電極部に対向する面よりも前記可動電極部側に位置する端部をもつストッパと、 を備えた角速度取得装置。

IPC (3件)：

G01C 19/576 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/5762 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84 Z

Fターム (28件)：

2F105BB12 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081AA01 ,  3C081BA07 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA14 ,  3C081DA03 ,  3C081DA30 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20 ,  4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 静電型振動アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-150433   出願人：株式会社村田製作所
• 微小構造体の変位量測定装置および変位量測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-314451   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 静電容量型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-219349   出願人：ヤマハ株式会社
• ヨーレートセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-252871   出願人：株式会社デンソー