特許

J-GLOBAL ID：201803004532093903

真空バルブ

発明者： フローリアン エールネ ,  マルティン ネッツァー
出願人/特許権者： バット ホールディング アーゲー
代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-506319
公開番号（公開出願番号）：特表2018-525584
出願日： 2016年07月25日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：

ローラ支持部(13)が中間位置から閉位置に動かされた場合、第1展開ローラ(14)および第2展開ローラ(15)が窪み部(23)の傾斜面(23a)に沿って動かされ、第1プレート(11)および第2プレート(12)が展開方向(22)に平行に相互に展開される。各ローラペアを構成する第1展開ローラ(14)および第2展開ローラ(15)のそれぞれの回転軸線(28)(29)が、運動方向(16)について相対的にずらして配置され、展開方向(22)について第1展開ローラ(14)の半径および第2展開ローラ(15)の半径の和よりも小さい間隔(b)を有する。【選択図】 図12

請求項（抜粋）：

内部空間(2)、第1シート面(7)により囲まれた第1バルブ開口部(3)および第2シート面(8)により囲まれた第2バルブ開口部(4)を有するバルブハウジング(1)と、 前記バルブハウジング(1)の前記内部空間(2)に配置された閉塞ユニット(10)と、を備えている真空バルブであって、 前記閉塞ユニット(10)が、第1プレート(11)と、第2プレート(12)と、前記第1プレート(11)と前記第2プレート(12)との間に配置されているローラ支持部(13)と、前記ローラ支持部(13)に対してそれぞれの回転軸線(28)(29)のまわりに回動可能に設けられた第1展開ローラ(14)および第2展開ローラ(15)により構成されている複数のローラペアと、前記第1プレート(11)および前記第2プレート(12)のそれぞれに当接している前記第1展開ローラ(14)および前記第2展開ローラ(15)のそれぞれに対して前記第1プレート(11)および前記第2プレート(12)のそれぞれを付勢する少なくとも1つのばね(30)(31)と、を備え、 前記真空バルブが開いており、前記第1バルブ開口部(3)および前記第2バルブ開口部(4)が開放されている開位置から、前記第1プレート(11)および前記第2バルブプレート(12)のそれぞれが前記第1バルブ開口部(3)および前記第2バルブ開口部(4)の間にある一方で前記第1シート面(7)および前記第2シート面(8)のそれぞれから離間している中間位置を経て、前記真空バルブが閉じられている閉位置まで前記ローラ支持部(13)が運動方向(16)に対して平行に変位可能であり、前記ローラ支持部(13)が開位置から中間位置に動かされた場合、前記第1プレート(11)および前記第2プレート(12)が前記ローラ支持部(13)に連動し、前記ローラ支持部(13)が中間位置から閉位置に動かされた場合、前記第1プレート(11)および前記第2プレート(12)の前記運動方向(16)への変位が制止され、 前記ローラ支持部(13)の開位置および中間位置において、前記複数のローラペアのそれぞれのうち前記第1展開ローラ(14)が、前記第1プレート(11)の表面においてそれぞれの窪み部(23)の領域に当接し、前記複数のローラペアのそれぞれのうち前記第2展開ローラ(15)が、前記第2プレート(12)の表面においてそれぞれの窪み部(23)の領域に当接し、前記ローラ支持部(13)が中間位置から開位置に動かされる際、前記第1展開ローラ(14)および前記第2展開ローラ(15)が前記窪み部(23)の傾斜面(23a)に沿って動かされ、前記第1プレート(11)および前記第2プレート(12)が展開方向(22)に平行に相互に展開され、 前記複数のローラペアのそれぞれを構成する前記第1展開ローラ(14)および前記第2展開ローラ(15)のそれぞれの前記回転軸線(28)(29)が、前記運動方向(16)について相対的にずらして配置され、前記展開方向(22)について前記第1展開ローラ(14)の半径および前記第2展開ローラ(15)の半径の和よりも小さい間隔(b)を有することを特徴とする真空バルブ。

IPC (2件)：

F16K 3/18 ,  F16K 51/02

FI (2件)：

F16K3/18 E ,  F16K51/02 B

Fターム (6件)：

3H053AA22 ,  3H053AA25 ,  3H053DA09 ,  3H066AA01 ,  3H066BA12 ,  3H066BA17