特許

J-GLOBAL ID：201803004604503168

圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ

発明者： 石田 守 ,  西原 時弘
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-016178
公開番号（公開出願番号）：特開2018-125696
出願日： 2017年01月31日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：

【課題】電気機械結合係数を向上させること。【解決手段】基板10と、前記基板上に設けられ、窒化アルミニウムを主成分とする圧電膜14と、前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向するヤング率がルテニウムのヤング率以上の材料を主成分とする第1電極およびヤング率がルテニウムのヤング率以下の材料を主成分とする第2電極と、を含み、前記圧電膜を挟み前記第1電極と前記第2電極とが対向する共振領域50において前記第2電極側に膨らみ、前記第1電極の膜厚をT1、前記第2電極の膜厚をT2、前記圧電膜の膜厚をT3としたとき、T1/(T2+T3)≧0.9である積層膜と、を具備する圧電薄膜共振器。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に設けられ、窒化アルミニウムを主成分とする圧電膜と、前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向するヤング率がルテニウムのヤング率以上の材料を主成分とする第1電極およびヤング率がルテニウムのヤング率以下の材料を主成分とする第2電極と、を含み、前記圧電膜を挟み前記第1電極と前記第2電極とが対向する共振領域において前記第2電極側に膨らみ、前記第1電極の膜厚をT1、前記第2電極の膜厚をT2、前記圧電膜の膜厚をT3としたとき、T1/(T2+T3)≧0.9である積層膜と、 を具備する圧電薄膜共振器。

IPC (1件)：

H03H 9/17

FI (1件)：

H03H9/17 F

Fターム (11件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF04 ,  5J108FF05 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01