特許
J-GLOBAL ID:201803004620189643
相変化材料および相変化型メモリ素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 三橋 真二
, 南山 知広
, 伊坪 公一
, 遠藤 力
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016086786
公開番号(公開出願番号):WO2017-104577
出願日: 2016年12月09日
公開日(公表日): 2017年06月22日
要約:
実用性に優れた相変化型メモリ素子を得るために適した新規組成を有する相変化材料、およびそれを用いた相変化型メモリ素子を得るために、相変化材料は、Cr、Ge及びTeを主成分とし、結晶相における抵抗値がアモルファス相における抵抗値よりも大きい性質を有する。相変化型メモリ素子は、基板と、この基板の上部にCr、Ge及びTeを主成分とし、結晶相における抵抗値がアモルファス相における抵抗値よりも大きい相変化材料で形成したメモリ層と、このメモリ層に通電するための第1、第2の電極層とを備える。
請求項(抜粋):
Cr、Ge及びTeを主成分とし、結晶相における抵抗値がアモルファス相における抵抗値よりも大きい、相変化材料。
IPC (3件):
H01L 21/823
, H01L 27/105
, H01L 45/00
FI (2件):
H01L27/105 449
, H01L45/00 A
Fターム (8件):
5F083FZ10
, 5F083GA05
, 5F083JA36
, 5F083JA37
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA60
, 5F083PR22
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