特許
J-GLOBAL ID:201803004844260610

RFデバイスの不具合解析法および等価回路

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-043323
公開番号(公開出願番号):特開2018-146455
出願日: 2017年03月07日
公開日(公表日): 2018年09月20日
要約:
【課題】VNA(ベクトルネットワークアナライザー)を用いたタイムドメイン解析はそれらの装置の不具合場所を見つける強力なツールの一つであるが、どのような種類の不具合がどこで起こったのかを知るのは難しく、不具合解析を行なうために、時には評価用治具やデバイスを分解する必要があり詳細を見つけるのに膨大な時間かかる。【解決手段】本発明は、実際のVNA構成を等価回路でモデル化し、1ポート評価システムまたは2ポート評価システムにおいて測定されるSパラメータの周波数ドメインのSパラメータのスペクトルを評価して実際のVNA構成の具体的不具合を解析する手法を開発した。【選択図】図2
請求項(抜粋):
VNAとその1個のポートとそれに接続された周波数拡張器とそれに繋がるケーブルとそのケーブルに接続された接触部とその接触部がその表面に接触して高周波を発射してその反射波S11を測定する試料とで構成される1ポート評価システムを表す等価回路であって、周波数拡張器を表すリアクタンス回路Rと、前記接触部とケーブルを表す結合容量Cprobe,cableと、前記接触部が接触する試料の表面を表すインダクタLshortの両端に接触抵抗Rcontと寄生容量Ccontの並列回路を直列に接続した表面回路Sと、1端が接地された交流電源の他端に接続されたVNAの高周波出力C1とで構成され、周波数拡張器Rと結合容量Cprobe,cableと表面回路SとVNAの高周波出力C1とが順に並列に結合されており、表面回路Sの接触抵抗Rcontの変化により計算される当該等価回路のインピーダンスの共振ピーク周波数が測定され、該1ポート評価システムで測定したS11パラメータのピーク周波数が略等しい時の当該接触抵抗Rcontの値を該1ポート評価システムの接触抵抗推定値とする等価回路による解析を特徴とする1ポート評価システム。
IPC (3件):
G01R 27/02 ,  G01R 27/28 ,  G01R 35/00
FI (3件):
G01R27/02 R ,  G01R27/28 Z ,  G01R35/00 J
Fターム (8件):
2G028AA04 ,  2G028BD10 ,  2G028CG04 ,  2G028CG15 ,  2G028DH14 ,  2G028FK07 ,  2G028HM10 ,  2G028LR08
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る