特許

J-GLOBAL ID：201803004988890929

検査装置

発明者： ▲高▼橋 勇
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-221234
公開番号（公開出願番号）：特開2018-081948
出願日： 2016年11月14日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
要約：

【課題】簡単な構成によって、光源において発生した光を、検査対象である固体撮像装置の複数の受光素子に略均一に精度良く照射することができる検査装置を提供する。【解決手段】半導体ウェハー100に形成された固体撮像装置を検査するために用いられる検査装置10であって、LEDを含む光源30と、スリットが設けられたプローブカード基板を含むプローブカード40と、光源とプローブカード基板との間に設置され、光源からの光を伝送して、スリットを通して固体撮像装置に照射する複数の光ファイバー50とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固体撮像装置を検査するために用いられる検査装置であって、 LEDを含む光源と、 スリットが設けられたプローブカード基板を含むプローブカードと、 前記光源と前記プローブカード基板との間に設置され、前記光源からの光を伝送して、前記スリットを通して前記固体撮像装置に照射する複数の光ファイバーと、 を備える検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 27/14

FI (4件)：

H01L21/66 B ,  H01L21/66 C ,  H01L21/66 X ,  H01L27/14 Z

Fターム (22件)：

4M106AA01 ,  4M106AB09 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DD01 ,  4M106DD10 ,  4M106DE20 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH38 ,  4M106DJ32 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118EA11 ,  4M118FA08 ,  4M118GA09 ,  4M118HA30