特許
J-GLOBAL ID：201803005108756389
ボール配列マスク及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高田 守
, 高橋 英樹
, 小澤 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-177955
公開番号（公開出願番号）：特開2018-046072
出願日： 2016年09月12日
公開日（公表日）： 2018年03月22日
要約：
【課題】パターン開口領域の全域と、パターン開口領域の周辺近傍に設けられた第1の突起部の周辺部分をコーティング形成領域とし、このコーティング形成領域のみにフラックス付着防止用の撥水性コーティング層を形成することにより、低分子シロキサンの発生を抑制できるボール配列マスクを得る。【解決手段】パターン開口領域と、パターン開口領域の周縁近傍を取り囲むように設けられた第1の突起部と、パターン開口領域間の中間位置に設けられ、縦方向及び横方向にそれぞれ延びるように設けられた第2の突起部とを備え、パターン開口領域の全域及びパターン開口領域の周縁近傍に設けられた第1の突起部の周辺部分を含む領域をコーティング形成領域とし、コーティング形成領域間に位置する領域をコーティング非形成領域とし、コーティング形成領域のみにフラックス付着防止用の撥水性コーティング層を形成する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数のパターン開口領域にボール挿入用の貫通孔が多数設けられ、ボールを振り込むことにより、フラックスが塗布されたボールを搭載する基板の電極上にボールを搭載するボール配列マスクであって、
前記ボール配列マスクは、縦方向及び横方向に配列された複数のパターン開口領域と、
前記ボール配列マスクの下面側の前記各パターン開口領域の周縁近傍をそれぞれ取り囲むように設けられた第1の突起部と、
前記ボール配列マスクの下面側の前記各パターン開口領域間の中間位置に設けられ、縦方向及び横方向にそれぞれ延びるように設けられた第2の突起部とを備え、
前記ボール配列マスクの下面側のうち、互に隣接する2個のパターン開口領域を単位とし、2個のパターン開口領域の全域及び2個のパターン開口領域の周縁近傍に設けられた前記第1の突起部の周辺部分を含む領域をコーティング形成領域とし、
一方、前記ボール配列マスクの下面側のうち、前記各コーティング形成領域間に位置し、前記各パターン開口領域間の中間位置に縦方向及び横方向にそれぞれ延びるように設けられた前記第2の突起部の周辺部分を含む領域をコーティング非形成領域とし、
前記コーティング形成領域のみに、フラックス付着防止用の撥水性コーティング層を形成し、前記コーティング非形成領域には、前記フラックス付着防止用の撥水性コーティング層を形成しないようにしたことを特徴とするボール配列マスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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