特許

J-GLOBAL ID：201803005188231893

ガラス基板の保持用膜体及びガラス基板の研磨方法

発明者： 堀田 尚宏
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人栄光特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-091277
公開番号（公開出願番号）：特開2018-122430
出願日： 2018年05月10日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：

【課題】研磨後のガラス基板の品質を向上させる。【解決手段】ガラス基板の保持用膜体は、ガラス基板を吸着保持可能な自己吸着型シートと、自己吸着型シートのガラス基板を吸着する第1の面に貼り付けられたシート状基材と、自己吸着型シートの第1の面の逆側の第2の面に設けられた粘着層と、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ガラス基板を吸着保持可能な自己吸着型シートと、 前記ガラス基板を吸着保持する前記自己吸着型シートの第1の面に貼り付けられたシート状基材と、 前記自己吸着型シートの前記第1の面の逆側の第2の面に設けられた粘着層と、 を備えるガラス基板の保持用膜体。

IPC (4件)：

B24B 37/30 ,  B24B 7/24 ,  B24B 37/10 ,  B24B 41/06

FI (4件)：

B24B37/30 D ,  B24B7/24 Z ,  B24B37/10 ,  B24B41/06 L

Fターム (14件)：

3C034AA07 ,  3C034BB73 ,  3C043BB05 ,  3C043CC07 ,  3C043DD05 ,  3C043EE04 ,  3C158AA07 ,  3C158AB04 ,  3C158CA01 ,  3C158CA06 ,  3C158CB01 ,  3C158CB04 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01