特許
J-GLOBAL ID:201803005233342774
インサイチュホルダーアセンブリ
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 航介
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-511651
特許番号:特許第6232674号
出願日: 2013年05月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 イメージング装置において試料を収容して位置決めする試料ホルダーであって、該ホルダーは、
前記試料を受け入れて支持するための受け部と、
前記受け部に取り付けられ、前記試料を前記イメージング装置内の予め定められた場所に位置決めして、電磁放射ビームを閉じ込めるための細長いバレルと、
前記細長いバレルに取り付けられた内蔵式電磁放射源と、
前記細長いバレル内に取り付けられ、前記電磁放射源からの前記電磁放射ビームを受け取って前記試料の集束ポイントに集束させる調整可能なレンズと、
を備え、
前記電磁放射ビームは、前記電磁放射ビームの集束ポイントに隣接する前記試料の一部のエネルギーレベルを増大させることを特徴とする、試料ホルダー。
IPC (1件):
FI (2件):
H01J 37/20 A
, H01J 37/20 E
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