特許
J-GLOBAL ID：201803005248229044
電子ビーム放出方向調整方法および電子ビームエミッタ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-125435
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228488
出願日： 2016年06月24日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】本発明は、電子ビーム放出方向調整方法および電子ビームエミッタ装置に関し、エミッタ先端から所望の角度方向の電子を光軸上に放出されるように調整することを目的とする。【解決手段】エミッタ2の先端がエクストラクタ電極の穴12の中心から測定されたずれ量に対応する角度を有する傾斜機構を選択する傾斜機構選択ステップと、傾斜機構選択ステップで選択された傾斜機構を、エミッタ2の保持部とそれの固定部の間に挿入して固定する傾斜機構設定ステップとを備え、傾斜機構設定ステップで挿入されて固定された後のエミッタの先端から所望の角度方向の電子を光軸上に放出されるように調整する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加熱されたエミッタ先端からエクストラクタ電極に印加した正電圧により引っ張られて放出される電子のうち任意の方向の電子を光軸上に放出されるように調整する電子ビーム放出方向調整方法において、
前記エミッタ先端が前記エクストラクタ電極の穴の中心から測定されたずれ量に対応する角度を有する傾斜機構を選択する傾斜機構選択ステップと、
前記傾斜機構選択ステップで選択された傾斜機構を、前記エミッタの保持部とそれの固定部の間に挿入して固定する傾斜機構設定ステップと
を備え、
前記傾斜機構設定ステップで挿入されて固定された後のエミッタの先端から所望の角度方向の電子を光軸上に放出されるように調整したことを特徴とする電子ビーム放出方向調整方法。
IPC (3件)：
H01J 37/063
, H01J 37/067
, H01J 37/073
H01J37/063
, H01J37/067
, H01J37/073
