特許

J-GLOBAL ID：201803005300920281

吸着確認方法、離脱確認方法、及び減圧処理装置

発明者： 千東 謙太
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-142216
公開番号（公開出願番号）：特開2018-014383
出願日： 2016年07月20日
公開日（公表日）： 2018年01月25日
要約：

【課題】静電チャックがウエーハを吸着しているか否かを容易に確認する。【解決手段】静電チャック3は、誘電体で形成され保持面を有し内部に金属板34が配設されたウエーハ保持部31と、金属板34を直流電源36に接続する第1配線37とを備え、搬送手段7は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持するパッド70と、パッド70をアースに接続する第2配線72とを備え、第1配線37又は第2配線72に配設される抵抗81と抵抗81の両端の電圧を測定する電圧計84を有する電圧測定手段8を備え、パッド70が保持するウエーハを静電チャック3に接触させ静電チャック3とパッド70とを接続させる工程と、直流電源36から静電チャック3に電力を供給し、静電チャック3に電力を供給した方向の電圧の電圧計84における測定値が所定の電圧値に達したとき静電チャック3がウエーハを吸着していると判断する工程と、を備える吸着確認方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持する搬送手段がウエーハを静電チャックに搬入した際に該静電チャックがウエーハを吸着保持しているか否かを確認する吸着確認方法であって、 該静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第1の配線と、を備え、 該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第2の配線と、を備え、 該第1の配線又は該第2の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、 該搬送パッドが保持するウエーハを該静電チャックに接触させウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させる接続工程と、 該接続工程を実施した後、該直流電源から該静電チャックに電力を供給し、該直流電源が該静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する吸着判断工程と、を備える吸着確認方法。

IPC (6件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/683 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/306 ,  H02N 13/00 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 R ,  B65G49/07 C ,  H01L21/302 101G ,  H02N13/00 ,  H05H1/46 M

Fターム (49件)：

2G084AA02 ,  2G084BB07 ,  2G084BB21 ,  2G084CC12 ,  2G084CC33 ,  2G084DD02 ,  2G084DD15 ,  2G084DD23 ,  2G084DD55 ,  2G084FF03 ,  2G084FF07 ,  2G084FF31 ,  2G084HH11 ,  2G084HH22 ,  5F004AA16 ,  5F004BA06 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004BC06 ,  5F004CA08 ,  5F004CB05 ,  5F004DA18 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA09 ,  5F131CA68 ,  5F131DA14 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB22 ,  5F131DB25 ,  5F131DB32 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB18 ,  5F131EB24 ,  5F131EB73 ,  5F131EB78 ,  5F131EB82 ,  5F131KA40 ,  5F131KA52 ,  5F131KA72 ,  5F131KB32 ,  5F131KB43