特許

J-GLOBAL ID：201803005361029132

微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置

発明者： 杉坂 純一郎 ,  安井 崇 ,  平山 浩一
出願人/特許権者： 国立大学法人北見工業大学
代理人 (3件)： 木村 満 ,  太田 清子 ,  毛受 隆典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-244003
公開番号（公開出願番号）：特開2018-097284
出願日： 2016年12月16日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

【課題】所望の微細光学像を容易に生成できる微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置を提供する。【解決手段】微細光学像生成素子100は、準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の開口部140が配置された微細構造部120を備える。微細構造部120は、レーザ光を遮断する遮光膜130と、遮光膜130に設けられ、レーザ光が通過可能な複数の開口部140と、を備える。準結晶パターンは、例えば、準結晶の格子構造の一つであるペンローズタイルの格子点からなるパターンである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の凹部、凸部、又は開口部が配置された微細構造部を備える微細光学像生成素子。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G03F 1/50 ,  G03F 1/22

FI (4件)：

G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  G03F1/50 ,  G03F1/22

Fターム (16件)：

2H195BA12 ,  2H195BB08 ,  2H195BB09 ,  2H195BB10 ,  2H195BB16 ,  2H195BB25 ,  2H195BB35 ,  2H195BC05 ,  2H197AA50 ,  2H197BA11 ,  2H197CA01 ,  2H197CA03 ,  2H197CA07 ,  2H197CA10 ,  2H197HA03 ,  2H197JA05