特許
J-GLOBAL ID：201803005636497816

試験装置及び方法、並びにプログラム

発明者：
中津 孝規

中津 孝規 について

, 
矢田 裕貴

矢田 裕貴 について


出願人/特許権者：
三重富士通セミコンダクター株式会社

三重富士通セミコンダクター株式会社 について


代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-257365
公開番号（公開出願番号）：特開2015-114243
特許番号：特許第6227392号
出願日： 2013年12月12日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の電子デバイスについて、前記電子デバイス毎に第1の温度における機能試験を行う試験装置であって、 前記機能試験に際して、前記電子デバイス毎に電圧又は周波数の第1の動作下限値又は第2の動作下限値を決定する決定部と、 決定された前記第1の動作下限値及び前記第2の動作下限値を集計して分布を算出する演算部と、 算出された前記分布を用いて、前記電子デバイスについて良品又は不良品の判定を行う判定部と を含み、 前記決定部は、 前記機能試験に際して取得したサーチ上限値及びサーチ下限値を用いて、第1の数の前記電子デバイスについて最小サーチ単位まで複数回の演算を行って前記第1の動作下限値を決定する第1の下限値サーチと、 残りの前記電子デバイスについて前記第1の下限値サーチで決定された前記第1の動作下限値の平均値又は中央値から前記最小サーチ単位で変化させた値を用いて、2回又は3回の演算を行って前記第2の動作下限値を決定する第2の下限値サーチと を行うことを特徴とする試験装置。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01R 31/28 H ,  H01L 21/66 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM