特許
J-GLOBAL ID:201803005786185308
ネガ型感光性樹脂組成物およびそれを用いた硬化膜
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-013233
公開番号(公開出願番号):特開2018-146958
出願日: 2018年01月30日
公開日(公表日): 2018年09月20日
要約:
【課題】パターン加工性および保存安定性に優れ、UV硬化および熱硬化により、高硬度および高耐薬品性を有する硬化膜を与える、ネガ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光ラジカル重合開始剤、(C)特定構造のエポキシまたはオキセタン含有単官能モノマー、(D)特定構造のアミン系シランカップリング剤および(E)アルコール性水酸基を有する溶剤を含有し、前記(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、(a-1)カルボキシル基とラジカル重合性基を有するポリシロキサンおよび/または(a-2)カルボキシル基を有するアクリル樹脂とラジカル重合性基を有する一置換エポキシ化合物との反応生成物である変性アクリル樹脂を含み、前記(E)アルコール性水酸基を有する溶剤を25〜70重量%含有するネガ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光ラジカル重合開始剤、(C)下記一般式(1)で表される構造を有するエポキシまたはオキセタン含有単官能モノマー、(D)下記一般式(2)で表される構造を有するアミン系シランカップリング剤および(E)アルコール性水酸基を有する溶剤を含有し、
前記(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、(a-1)カルボキシル基とラジカル重合性基を有するポリシロキサンおよび/または(a-2)カルボキシル基を有するアクリル樹脂とラジカル重合性基を有する一置換エポキシ化合物との反応生成物である変性アクリル樹脂を含み、前記(E)アルコール性水酸基を有する溶剤を25〜70重量%含有するネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/027
, G03F 7/038
, G03F 7/075
, G03F 7/031
, G03F 7/004
, G02B 5/20
, G02B 1/14
, G06F 3/041
FI (10件):
G03F7/027 502
, G03F7/038 501
, G03F7/075 501
, G03F7/031
, G03F7/027 511
, G03F7/004 501
, G02B5/20 101
, G02B1/14
, G06F3/041 460
, G06F3/041 495
Fターム (38件):
2H148BE38
, 2H148BF16
, 2H148BG01
, 2H148BH21
, 2H225AC02
, 2H225AC21
, 2H225AC36
, 2H225AC44
, 2H225AC49
, 2H225AC60
, 2H225AC72
, 2H225AD06
, 2H225AM13P
, 2H225AM23P
, 2H225AM32P
, 2H225AM85P
, 2H225AM92P
, 2H225AN11P
, 2H225AN14P
, 2H225AN21P
, 2H225AN34P
, 2H225AN39P
, 2H225AN44P
, 2H225AN62P
, 2H225AN72P
, 2H225BA02P
, 2H225BA05P
, 2H225BA09P
, 2H225BA13P
, 2H225BA33P
, 2H225CA14
, 2H225CA16
, 2H225CB05
, 2H225CC01
, 2H225CC13
, 2K009AA15
, 2K009CC24
, 2K009DD05
引用特許:
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